传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
5期
114-117
,共4页
徐媛%杨涛%蔺怡%刘婷婷%陈光焱%王超
徐媛%楊濤%藺怡%劉婷婷%陳光焱%王超
서원%양도%린이%류정정%진광염%왕초
惯性开关%微流体%微机械加工%准静态阈值%冲击阈值%测试
慣性開關%微流體%微機械加工%準靜態閾值%遲擊閾值%測試
관성개관%미류체%미궤계가공%준정태역치%충격역치%측시
针对传统微机械“固-固”型触点开关存在触点磨损、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等缺点,设计制作了一种利用水银液滴在变矩形截面微通道中的流动来实现通断的微流体惯性开关.利用阳极键合和DRIE技术制作了开关微通道,采用溅射沉积方式沉积了Cr金属薄膜,分别通过离心转台和加速度传感器测试了开关的准静态阈值和冲击阈值,实验测试结果分别为8.525,5.09gn.实验结果表明:冲击阈值较准静态阈值小.
針對傳統微機械“固-固”型觸點開關存在觸點磨損、接觸不穩定、導通電阻大、抗榦擾能力差等缺點,設計製作瞭一種利用水銀液滴在變矩形截麵微通道中的流動來實現通斷的微流體慣性開關.利用暘極鍵閤和DRIE技術製作瞭開關微通道,採用濺射沉積方式沉積瞭Cr金屬薄膜,分彆通過離心轉檯和加速度傳感器測試瞭開關的準靜態閾值和遲擊閾值,實驗測試結果分彆為8.525,5.09gn.實驗結果錶明:遲擊閾值較準靜態閾值小.
침대전통미궤계“고-고”형촉점개관존재촉점마손、접촉불은정、도통전조대、항간우능력차등결점,설계제작료일충이용수은액적재변구형절면미통도중적류동래실현통단적미류체관성개관.이용양겁건합화DRIE기술제작료개관미통도,채용천사침적방식침적료Cr금속박막,분별통과리심전태화가속도전감기측시료개관적준정태역치화충격역치,실험측시결과분별위8.525,5.09gn.실험결과표명:충격역치교준정태역치소.
