传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
5期
21-23,27
,共4页
刘畅%郭建来%林杰%刘琦%郭航
劉暢%郭建來%林傑%劉琦%郭航
류창%곽건래%림걸%류기%곽항
磁控溅射%氧化锡薄膜%掺杂Cu%微型薄膜锂离子电池%负极材料
磁控濺射%氧化錫薄膜%摻雜Cu%微型薄膜鋰離子電池%負極材料
자공천사%양화석박막%참잡Cu%미형박막리리자전지%부겁재료
研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料.这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOx和金属Cu.XRD分析和SEM观察表明:随着金属Cu掺杂量的增加,所制备薄膜由晶态趋向于非晶态,有利于锂离子的嵌入与脱出.恒电流充放电测试表明:随着金属Cu掺杂量的增加,SnOx薄膜放电容量有所增加,循环性能有很大的提高.这种掺杂Cu的SnOx薄膜的制备方法可用于微型薄膜锂离子电池.
研究瞭摻雜Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作為微型薄膜鋰電池負極材料.這種薄膜是採用磁控濺射的方式,在硅基底上沉積瞭SnOx和金屬Cu.XRD分析和SEM觀察錶明:隨著金屬Cu摻雜量的增加,所製備薄膜由晶態趨嚮于非晶態,有利于鋰離子的嵌入與脫齣.恆電流充放電測試錶明:隨著金屬Cu摻雜量的增加,SnOx薄膜放電容量有所增加,循環性能有很大的提高.這種摻雜Cu的SnOx薄膜的製備方法可用于微型薄膜鋰離子電池.
연구료참잡Cu적Sn적양화물박막,타가이작위미형박막리전지부겁재료.저충박막시채용자공천사적방식,재규기저상침적료SnOx화금속Cu.XRD분석화SEM관찰표명:수착금속Cu참잡량적증가,소제비박막유정태추향우비정태,유리우리리자적감입여탈출.항전류충방전측시표명:수착금속Cu참잡량적증가,SnOx박막방전용량유소증가,순배성능유흔대적제고.저충참잡Cu적SnOx박막적제비방법가용우미형박막리리자전지.
