传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
5期
6-8
,共3页
RF-MEMS开关%闭合电压%环境温度%影响模型
RF-MEMS開關%閉閤電壓%環境溫度%影響模型
RF-MEMS개관%폐합전압%배경온도%영향모형
相较于传统的电子开关,RF-MEMS开关在射频特性、功耗和体积方面具有无可比拟的优势.闭合电压是MEMS开关的重要技术指标.重点研究环境温度对开关闭合电压的影响.建立环境温度对开关电压影响模型,得到理论计算公式.通过试验方式得到闭合电压对环境温度的变化曲线.试验结果表明:在-10 ～40℃范围内,开关电压随环境温度升高而降低.最大电压变化为8.8V,是-10℃时闭合电压58.6V的15％,环境温度对开关闭合电压影响很大.
相較于傳統的電子開關,RF-MEMS開關在射頻特性、功耗和體積方麵具有無可比擬的優勢.閉閤電壓是MEMS開關的重要技術指標.重點研究環境溫度對開關閉閤電壓的影響.建立環境溫度對開關電壓影響模型,得到理論計算公式.通過試驗方式得到閉閤電壓對環境溫度的變化麯線.試驗結果錶明:在-10 ～40℃範圍內,開關電壓隨環境溫度升高而降低.最大電壓變化為8.8V,是-10℃時閉閤電壓58.6V的15％,環境溫度對開關閉閤電壓影響很大.
상교우전통적전자개관,RF-MEMS개관재사빈특성、공모화체적방면구유무가비의적우세.폐합전압시MEMS개관적중요기술지표.중점연구배경온도대개관폐합전압적영향.건립배경온도대개관전압영향모형,득도이론계산공식.통과시험방식득도폐합전압대배경온도적변화곡선.시험결과표명:재-10 ～40℃범위내,개관전압수배경온도승고이강저.최대전압변화위8.8V,시-10℃시폐합전압58.6V적15％,배경온도대개관폐합전압영향흔대.
