微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2013年
2期
292-295
,共4页
姚成军%黄大鸣%施道航%焦广泛
姚成軍%黃大鳴%施道航%焦廣汎
요성군%황대명%시도항%초엄범
隧穿场效应晶体管%量子效应%可靠性
隧穿場效應晶體管%量子效應%可靠性
수천장효응정체관%양자효응%가고성
基于二维器件仿真工具,研究了量子效应和小型化对双栅隧穿场效应晶体管的特性和可靠性的影响.隧穿晶体管中的量子效应除了带间隧穿,还包括量子统计效应和垂直沟道方向的量子限制效应.研究表明,量子统计效应和量子限制效应对隧穿晶体管的电流电压特性,特别是正偏压温度不稳定性(PBTI)是非常重要的.另外,随着沟道长度和体硅厚度的缩小,隧穿晶体管的电流电压特性和可靠性都得到了改善,但在保持相同等效氧化层厚度的情况下,使用高介电常数的栅介质不会改善器件的电流电压特性及可靠性.
基于二維器件倣真工具,研究瞭量子效應和小型化對雙柵隧穿場效應晶體管的特性和可靠性的影響.隧穿晶體管中的量子效應除瞭帶間隧穿,還包括量子統計效應和垂直溝道方嚮的量子限製效應.研究錶明,量子統計效應和量子限製效應對隧穿晶體管的電流電壓特性,特彆是正偏壓溫度不穩定性(PBTI)是非常重要的.另外,隨著溝道長度和體硅厚度的縮小,隧穿晶體管的電流電壓特性和可靠性都得到瞭改善,但在保持相同等效氧化層厚度的情況下,使用高介電常數的柵介質不會改善器件的電流電壓特性及可靠性.
기우이유기건방진공구,연구료양자효응화소형화대쌍책수천장효응정체관적특성화가고성적영향.수천정체관중적양자효응제료대간수천,환포괄양자통계효응화수직구도방향적양자한제효응.연구표명,양자통계효응화양자한제효응대수천정체관적전류전압특성,특별시정편압온도불은정성(PBTI)시비상중요적.령외,수착구도장도화체규후도적축소,수천정체관적전류전압특성화가고성도득도료개선,단재보지상동등효양화층후도적정황하,사용고개전상수적책개질불회개선기건적전류전압특성급가고성.
