河南师范大学学报（自然科学版）
河南師範大學學報（自然科學版）
하남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2013年
2期
71-73
,共3页
蒋玉荣%陈晨%秦瑞平%杨海刚
蔣玉榮%陳晨%秦瑞平%楊海剛
장옥영%진신%진서평%양해강
圆形硅膜%MEMS%KOH%各向异性腐蚀
圓形硅膜%MEMS%KOH%各嚮異性腐蝕
원형규막%MEMS%KOH%각향이성부식
由于单晶硅在碱性腐蚀液中的腐蚀速率呈各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜的制作.利用添加剂异丙醇(IPA)来改善KOH的腐蚀特性,在KOH与IPA混合腐蚀液体系中制备出类圆形硅膜阵列.通过扫描电镜观察腐蚀图形形貌,结果表明带有图案的N型衬底在质量分数为40％的KOH和IPA构成的混合溶液中,腐蚀出底面平整侧壁光滑的圆形硅膜阵列,并且初步探讨导电类型对腐蚀形貌影响机制.
由于單晶硅在堿性腐蝕液中的腐蝕速率呈各嚮異性,在圓形掩膜下很難實現圓形單晶硅膜的製作.利用添加劑異丙醇(IPA)來改善KOH的腐蝕特性,在KOH與IPA混閤腐蝕液體繫中製備齣類圓形硅膜陣列.通過掃描電鏡觀察腐蝕圖形形貌,結果錶明帶有圖案的N型襯底在質量分數為40％的KOH和IPA構成的混閤溶液中,腐蝕齣底麵平整側壁光滑的圓形硅膜陣列,併且初步探討導電類型對腐蝕形貌影響機製.
유우단정규재감성부식액중적부식속솔정각향이성,재원형엄막하흔난실현원형단정규막적제작.이용첨가제이병순(IPA)래개선KOH적부식특성,재KOH여IPA혼합부식액체계중제비출류원형규막진렬.통과소묘전경관찰부식도형형모,결과표명대유도안적N형츤저재질량분수위40％적KOH화IPA구성적혼합용액중,부식출저면평정측벽광활적원형규막진렬,병차초보탐토도전류형대부식형모영향궤제.
