电子器件
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전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2013年
2期
152-157
,共6页
MEMS%立体电感%品质因数%等效电路
MEMS%立體電感%品質因數%等效電路
MEMS%입체전감%품질인수%등효전로
基于微机电(MEMS)工艺技术的射频电感是一种体积小、功耗低和集成度高的新型电感,对于设计高品质因数的微波集成电路具有非常重要的作用.对先进的硅基微机电射频电感设计技术进行了介绍,给出了3种常用的等效电路模型；同时利用三维电磁仿真软件HFSS设计了平面结构和垂直结构的MEMS立体电感,详细地给出了这2种电感的物理结构参数以及在N型硅衬底上的实现方法及工艺流程.仿真结果表明,平面结构的电感品质因数在4.4 GHz处可以达到11.8,垂直结构的电感的品质因数在4.3GHz处可以达到19.5,远远高于传统电感的品质因数.
基于微機電(MEMS)工藝技術的射頻電感是一種體積小、功耗低和集成度高的新型電感,對于設計高品質因數的微波集成電路具有非常重要的作用.對先進的硅基微機電射頻電感設計技術進行瞭介紹,給齣瞭3種常用的等效電路模型；同時利用三維電磁倣真軟件HFSS設計瞭平麵結構和垂直結構的MEMS立體電感,詳細地給齣瞭這2種電感的物理結構參數以及在N型硅襯底上的實現方法及工藝流程.倣真結果錶明,平麵結構的電感品質因數在4.4 GHz處可以達到11.8,垂直結構的電感的品質因數在4.3GHz處可以達到19.5,遠遠高于傳統電感的品質因數.
기우미궤전(MEMS)공예기술적사빈전감시일충체적소、공모저화집성도고적신형전감,대우설계고품질인수적미파집성전로구유비상중요적작용.대선진적규기미궤전사빈전감설계기술진행료개소,급출료3충상용적등효전로모형；동시이용삼유전자방진연건HFSS설계료평면결구화수직결구적MEMS입체전감,상세지급출료저2충전감적물리결구삼수이급재N형규츤저상적실현방법급공예류정.방진결과표명,평면결구적전감품질인수재4.4 GHz처가이체도11.8,수직결구적전감적품질인수재4.3GHz처가이체도19.5,원원고우전통전감적품질인수.
