控制工程
控製工程
공제공정
CONTROL ENGINEERING OF CHINA
2013年
3期
456-459,465
,共5页
原子力显微镜%微悬臂%分布参数系统%模糊PID
原子力顯微鏡%微懸臂%分佈參數繫統%模糊PID
원자력현미경%미현비%분포삼수계통%모호PID
针对原子力显微镜(AFM)微悬臂的柔性特征,提出了一种基于时空变量分离的模糊PID控制方法.由于AFM的微悬臂探针的运动精度非常高,对扰动很敏感,因而需建立微悬臂的分布参数系统模型.在保持柔性微悬臂的空间振动特性的基础上,将基于时空变量分离控制方法,结合鲁棒性强的模糊PID控制方法运用到AFM微悬臂探针的控制上,这样使控制器的设计不用考虑空间耦合的影响.通过实验仿真结果,这种方法有效地提高了AFM的微悬臂探针的控制性能和稳定性.
針對原子力顯微鏡(AFM)微懸臂的柔性特徵,提齣瞭一種基于時空變量分離的模糊PID控製方法.由于AFM的微懸臂探針的運動精度非常高,對擾動很敏感,因而需建立微懸臂的分佈參數繫統模型.在保持柔性微懸臂的空間振動特性的基礎上,將基于時空變量分離控製方法,結閤魯棒性彊的模糊PID控製方法運用到AFM微懸臂探針的控製上,這樣使控製器的設計不用攷慮空間耦閤的影響.通過實驗倣真結果,這種方法有效地提高瞭AFM的微懸臂探針的控製性能和穩定性.
침대원자력현미경(AFM)미현비적유성특정,제출료일충기우시공변량분리적모호PID공제방법.유우AFM적미현비탐침적운동정도비상고,대우동흔민감,인이수건립미현비적분포삼수계통모형.재보지유성미현비적공간진동특성적기출상,장기우시공변량분리공제방법,결합로봉성강적모호PID공제방법운용도AFM미현비탐침적공제상,저양사공제기적설계불용고필공간우합적영향.통과실험방진결과,저충방법유효지제고료AFM적미현비탐침적공제성능화은정성.
