控制工程
控製工程
공제공정
CONTROL ENGINEERING OF CHINA
2013年
3期
447-451,455
,共6页
派工%免疫算法%自适应%半导体制造
派工%免疫算法%自適應%半導體製造
파공%면역산법%자괄응%반도체제조
高度不确定的半导体制造环境迫切需要能够快速响应生产线实际状态的调度方法,为此,在充分考虑半导体生产线特点的基础上,给出了同时考虑混合加工方式、上下游负载均衡与工件准时交货需求的自适应派工算法(Self-Adaptive Dispatching Rule,SADR).首先,介绍了SADR的算法流程；其次,将历史调度方案或仿真调度方案作为学习样本,基于免疫克隆选择算法挖掘SADR参数与实际生产状态参数及期望运作性能之间的关系模型,实现SADR参数跟随生产线运作状态的实时动态调整；最后,基于实际半导体生产线模型进行仿真验证.仿真结果表明,SADR能有效提高半导体生产线的运作性能,生产线上的总工件移动步数平均提高2％,并且在超载环境下能够获得更好的效果.
高度不確定的半導體製造環境迫切需要能夠快速響應生產線實際狀態的調度方法,為此,在充分攷慮半導體生產線特點的基礎上,給齣瞭同時攷慮混閤加工方式、上下遊負載均衡與工件準時交貨需求的自適應派工算法(Self-Adaptive Dispatching Rule,SADR).首先,介紹瞭SADR的算法流程；其次,將歷史調度方案或倣真調度方案作為學習樣本,基于免疫剋隆選擇算法挖掘SADR參數與實際生產狀態參數及期望運作性能之間的關繫模型,實現SADR參數跟隨生產線運作狀態的實時動態調整；最後,基于實際半導體生產線模型進行倣真驗證.倣真結果錶明,SADR能有效提高半導體生產線的運作性能,生產線上的總工件移動步數平均提高2％,併且在超載環境下能夠穫得更好的效果.
고도불학정적반도체제조배경박절수요능구쾌속향응생산선실제상태적조도방법,위차,재충분고필반도체생산선특점적기출상,급출료동시고필혼합가공방식、상하유부재균형여공건준시교화수구적자괄응파공산법(Self-Adaptive Dispatching Rule,SADR).수선,개소료SADR적산법류정；기차,장역사조도방안혹방진조도방안작위학습양본,기우면역극륭선택산법알굴SADR삼수여실제생산상태삼수급기망운작성능지간적관계모형,실현SADR삼수근수생산선운작상태적실시동태조정；최후,기우실제반도체생산선모형진행방진험증.방진결과표명,SADR능유효제고반도체생산선적운작성능,생산선상적총공건이동보수평균제고2％,병차재초재배경하능구획득경호적효과.
