中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2013年
6期
65-69
,共5页
闻永祥%范伟宏%顾悦吉%刘琛%刘慧勇
聞永祥%範偉宏%顧悅吉%劉琛%劉慧勇
문영상%범위굉%고열길%류침%류혜용
绝缘栅晶体管%工艺%槽栅尺寸%直流参数
絕緣柵晶體管%工藝%槽柵呎吋%直流參數
절연책정체관%공예%조책척촌%직류삼수
IGBT由于其优异特性而广泛应用于电机、电焊机和功率开关等领域,是功率器件的主流产品之一.本文首先简要介绍IGBT及历代器件工艺的发展,提出了一种槽栅IGBT的工艺流程,并研究了其槽栅设计尺寸对器件主要直流参数的影响.
IGBT由于其優異特性而廣汎應用于電機、電銲機和功率開關等領域,是功率器件的主流產品之一.本文首先簡要介紹IGBT及歷代器件工藝的髮展,提齣瞭一種槽柵IGBT的工藝流程,併研究瞭其槽柵設計呎吋對器件主要直流參數的影響.
IGBT유우기우이특성이엄범응용우전궤、전한궤화공솔개관등영역,시공솔기건적주유산품지일.본문수선간요개소IGBT급역대기건공예적발전,제출료일충조책IGBT적공예류정,병연구료기조책설계척촌대기건주요직류삼수적영향.