大学物理实验
大學物理實驗
대학물리실험
PHYSICAL EXPERIMENT OF COLLEGE
2013年
1期
1-3
,共3页
费彬城%陈良雷%陈余行%朱鹏飞
費彬城%陳良雷%陳餘行%硃鵬飛
비빈성%진량뢰%진여행%주붕비
双面金属波导%折射率%超高阶模%耦合
雙麵金屬波導%摺射率%超高階模%耦閤
쌍면금속파도%절사솔%초고계모%우합
利用双面金属铝包覆波导的测量方法,测量了硅片的厚度和折射率.这种方法利用双面金属铝包覆波导的超高阶模的偏振不灵敏和对金属层要求较低的特点,降低了对仪器的要求和测量的成本.同时,由于应用高灵敏的超高阶导模为探针,测量精度较高,结果显示测量精度在1％以内.
利用雙麵金屬鋁包覆波導的測量方法,測量瞭硅片的厚度和摺射率.這種方法利用雙麵金屬鋁包覆波導的超高階模的偏振不靈敏和對金屬層要求較低的特點,降低瞭對儀器的要求和測量的成本.同時,由于應用高靈敏的超高階導模為探針,測量精度較高,結果顯示測量精度在1％以內.
이용쌍면금속려포복파도적측량방법,측량료규편적후도화절사솔.저충방법이용쌍면금속려포복파도적초고계모적편진불령민화대금속층요구교저적특점,강저료대의기적요구화측량적성본.동시,유우응용고령민적초고계도모위탐침,측량정도교고,결과현시측량정도재1％이내.
