信息通信
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신식통신
XINXI TONGXIN
2013年
2期
9-11
,共3页
功率器件%肖特基势垒二极管(SBD)%超结%半超结%底端辅助层
功率器件%肖特基勢壘二極管(SBD)%超結%半超結%底耑輔助層
공솔기건%초특기세루이겁관(SBD)%초결%반초결%저단보조층
由于导通电阻与击穿电压之间的矛盾关系,肖特基二极管(SBD)不能够应用于高压功率领域.为了改善导通电阻与击穿电压之间的关系,提出了半超结理论及其设计方法.通过对器件结构参数进行计算和优化,构成了一种实现半超结SBD的工艺方法,并利用Silvaco TCAD软件进行仿真验证.结果表明,利用该优化方案,可以得到击穿电压为500V,导通电阻为37mΩ· cm2的半超结SBD器件.
由于導通電阻與擊穿電壓之間的矛盾關繫,肖特基二極管(SBD)不能夠應用于高壓功率領域.為瞭改善導通電阻與擊穿電壓之間的關繫,提齣瞭半超結理論及其設計方法.通過對器件結構參數進行計算和優化,構成瞭一種實現半超結SBD的工藝方法,併利用Silvaco TCAD軟件進行倣真驗證.結果錶明,利用該優化方案,可以得到擊穿電壓為500V,導通電阻為37mΩ· cm2的半超結SBD器件.
유우도통전조여격천전압지간적모순관계,초특기이겁관(SBD)불능구응용우고압공솔영역.위료개선도통전조여격천전압지간적관계,제출료반초결이론급기설계방법.통과대기건결구삼수진행계산화우화,구성료일충실현반초결SBD적공예방법,병이용Silvaco TCAD연건진행방진험증.결과표명,이용해우화방안,가이득도격천전압위500V,도통전조위37mΩ· cm2적반초결SBD기건.
