太赫兹科学与电子信息学报
太赫玆科學與電子信息學報
태혁자과학여전자신식학보
Information and Electronic Engineering
2013年
3期
350-354
,共5页
杜英华%胡银富%丁明清%李莉莉%蔡军%唐烨%刘京恺%冯进军
杜英華%鬍銀富%丁明清%李莉莉%蔡軍%唐燁%劉京愷%馮進軍
두영화%호은부%정명청%리리리%채군%당엽%류경개%풍진군
太赫兹%金刚石%微波等离子体化学气相沉积%输能窗
太赫玆%金剛石%微波等離子體化學氣相沉積%輸能窗
태혁자%금강석%미파등리자체화학기상침적%수능창
Terahertz%diamond%Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition%transmission window
金刚石材料具有低的介电常数、小的微波损耗、良好的导热性能，成为太赫兹电真空器件发展过程中非常有研究价值和应用价值的材料。它可以作为输能窗的介质窗片和高频结构的介质支撑材料。本文介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石材料在太赫兹电真空器件中的具体应用实例，以及在 W 波段行波管中的实际应用情况，包括 MPCVD 金刚石的制备过程，及其与金属材料的封接工艺。研制出的 W波段金刚石窗冷测结果显示其在75 GHz~110 GHz频段内性能良好：驻波系数(VSWR)≤1.5，传输损耗≤0.5 dB。这种窗已经成功用于 W波段折叠波导连续波与脉冲行波管中。
金剛石材料具有低的介電常數、小的微波損耗、良好的導熱性能，成為太赫玆電真空器件髮展過程中非常有研究價值和應用價值的材料。它可以作為輸能窗的介質窗片和高頻結構的介質支撐材料。本文介紹瞭微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)金剛石材料在太赫玆電真空器件中的具體應用實例，以及在 W 波段行波管中的實際應用情況，包括 MPCVD 金剛石的製備過程，及其與金屬材料的封接工藝。研製齣的 W波段金剛石窗冷測結果顯示其在75 GHz~110 GHz頻段內性能良好：駐波繫數(VSWR)≤1.5，傳輸損耗≤0.5 dB。這種窗已經成功用于 W波段摺疊波導連續波與脈遲行波管中。
금강석재료구유저적개전상수、소적미파손모、량호적도열성능，성위태혁자전진공기건발전과정중비상유연구개치화응용개치적재료。타가이작위수능창적개질창편화고빈결구적개질지탱재료。본문개소료미파등리자체화학기상침적(MPCVD)금강석재료재태혁자전진공기건중적구체응용실례，이급재 W 파단행파관중적실제응용정황，포괄 MPCVD 금강석적제비과정，급기여금속재료적봉접공예。연제출적 W파단금강석창랭측결과현시기재75 GHz~110 GHz빈단내성능량호：주파계수(VSWR)≤1.5，전수손모≤0.5 dB。저충창이경성공용우 W파단절첩파도련속파여맥충행파관중。
10.11805/TKYDA201303.0350
