太赫兹科学与电子信息学报
太赫玆科學與電子信息學報
태혁자과학여전자신식학보
Information and Electronic Engineering
2013年
3期
328-331
,共4页
罗振飞%周逊%李赜宇%王度%张庆伟%杨存榜
囉振飛%週遜%李賾宇%王度%張慶偉%楊存榜
라진비%주손%리색우%왕도%장경위%양존방
太赫兹探测器%氧化钒%微测辐射热计
太赫玆探測器%氧化釩%微測輻射熱計
태혁자탐측기%양화범%미측복사열계
THz detector%vanadium oxide%microbolometer
采用氧化钒(VOX)薄膜作为热敏层的非制冷红外微测辐射热计在红外探测方面已取得很大成功，而当将其用于波长更长的远红外太赫兹(THz)波探测时其中存在的不足就会体现出来。介绍了基于微测辐射热计设计的 THz 探测器所需的 THz 波吸收材料、VOX热敏材料及信号读出电路应满足的基本要求，为研制 THz 波探测器提供了必要参考，并给出已研制成功的 VOX热敏薄膜材料的部分性能实验结果。
採用氧化釩(VOX)薄膜作為熱敏層的非製冷紅外微測輻射熱計在紅外探測方麵已取得很大成功，而噹將其用于波長更長的遠紅外太赫玆(THz)波探測時其中存在的不足就會體現齣來。介紹瞭基于微測輻射熱計設計的 THz 探測器所需的 THz 波吸收材料、VOX熱敏材料及信號讀齣電路應滿足的基本要求，為研製 THz 波探測器提供瞭必要參攷，併給齣已研製成功的 VOX熱敏薄膜材料的部分性能實驗結果。
채용양화범(VOX)박막작위열민층적비제랭홍외미측복사열계재홍외탐측방면이취득흔대성공，이당장기용우파장경장적원홍외태혁자(THz)파탐측시기중존재적불족취회체현출래。개소료기우미측복사열계설계적 THz 탐측기소수적 THz 파흡수재료、VOX열민재료급신호독출전로응만족적기본요구，위연제 THz 파탐측기제공료필요삼고，병급출이연제성공적 VOX열민박막재료적부분성능실험결과。
10.11805/TKYDA201303.0328
