航空精密制造技术
航空精密製造技術
항공정밀제조기술
AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY
2013年
3期
22-25
,共4页
赵尔近%汪炜%张伟%张俊清
趙爾近%汪煒%張偉%張俊清
조이근%왕위%장위%장준청
电火花%硅%表面质量
電火花%硅%錶麵質量
전화화%규%표면질량
EDM%silicon%surface quality
采用 N 型重掺杂硅作为微细电火花加工对象，通过选择不同电参数（空载电压120V、160V，脉宽0.25滋s、2.5滋s），进行对比试验，并采用 SEM 方法对工件表面及加工产物的形貌进行表征和分析，研究不同脉冲能量（最小放电脉冲能量约10-7J）对加工表面及产物的影响。试验结果表明，随着单个脉冲能量的减小，放电凹坑和加工产物尺寸显著减小，加工表面质量有所提高。
採用 N 型重摻雜硅作為微細電火花加工對象，通過選擇不同電參數（空載電壓120V、160V，脈寬0.25滋s、2.5滋s），進行對比試驗，併採用 SEM 方法對工件錶麵及加工產物的形貌進行錶徵和分析，研究不同脈遲能量（最小放電脈遲能量約10-7J）對加工錶麵及產物的影響。試驗結果錶明，隨著單箇脈遲能量的減小，放電凹坑和加工產物呎吋顯著減小，加工錶麵質量有所提高。
채용 N 형중참잡규작위미세전화화가공대상，통과선택불동전삼수（공재전압120V、160V，맥관0.25자s、2.5자s），진행대비시험，병채용 SEM 방법대공건표면급가공산물적형모진행표정화분석，연구불동맥충능량（최소방전맥충능량약10-7J）대가공표면급산물적영향。시험결과표명，수착단개맥충능량적감소，방전요갱화가공산물척촌현저감소，가공표면질량유소제고。
