CAJ | 학술논문

在频域内利用微观轮廓功率谱密度和反射光栅模型得出：基片表面微观形貌在空间波长0.37~0.895滋m范围内的谐波分量是造成反射镜散射的主要因素，据此指出加工工艺改进方向应为降低该空间波长范围内的谐波分量。选取沥青抛光和化学机械抛光的试件，表面粗糙度值近似相同，二维功率谱密度曲线在空间波长0.3滋m附近出现交叉，空间波长0.37~0.895滋m 范围内，化学机械抛光试件比沥青抛光试件表面谐波分量弱。基片镀膜后，化学机械抛光的试件散射值小，实验结果与理论分析一致。
재빈역내이용미관륜곽공솔보밀도화반사광책모형득출：기편표면미관형모재공간파장0.37~0.895자m범위내적해파분량시조성반사경산사적주요인소，거차지출가공공예개진방향응위강저해공간파장범위내적해파분량。선취력청포광화화학궤계포광적시건，표면조조도치근사상동，이유공솔보밀도곡선재공간파장0.3자m부근출현교차，공간파장0.37~0.895자m 범위내，화학궤계포광시건비력청포광시건표면해파분량약。기편도막후，화학궤계포광적시건산사치소，실험결과여이론분석일치。