沈阳理工大学学报
瀋暘理工大學學報
침양리공대학학보
JOURNAL OF SHENYANG INTITUTE OF TECHNOLOGY
2013年
3期
12-16
,共5页
纳米ZnO薄膜%结晶取向%煅烧工艺%表面形貌
納米ZnO薄膜%結晶取嚮%煅燒工藝%錶麵形貌
납미ZnO박막%결정취향%단소공예%표면형모
以二水合醋酸锌作为前躯体,单乙醇胺(MEA)作为稳定剂,乙二醇甲醚作为溶剂制备出均匀稳定的溶胶,通过浸渍-提拉法将氧化锌薄膜沉积在玻璃基底上,研究热处理工艺对薄膜结晶取向和表面形貌的影响.随着煅烧温度和煅烧时间的增加,ZnO薄膜表面逐渐致密平滑,(002)峰的强度增大,晶粒尺寸增大.实验结果表明:在500℃煅烧下煅烧两次,煅烧时间为1h制备的薄膜衍射特征峰(002)最强,颗粒最均匀,结合最致密且薄膜表面光滑平整.
以二水閤醋痠鋅作為前軀體,單乙醇胺(MEA)作為穩定劑,乙二醇甲醚作為溶劑製備齣均勻穩定的溶膠,通過浸漬-提拉法將氧化鋅薄膜沉積在玻璃基底上,研究熱處理工藝對薄膜結晶取嚮和錶麵形貌的影響.隨著煅燒溫度和煅燒時間的增加,ZnO薄膜錶麵逐漸緻密平滑,(002)峰的彊度增大,晶粒呎吋增大.實驗結果錶明:在500℃煅燒下煅燒兩次,煅燒時間為1h製備的薄膜衍射特徵峰(002)最彊,顆粒最均勻,結閤最緻密且薄膜錶麵光滑平整.
이이수합작산자작위전구체,단을순알(MEA)작위은정제,을이순갑미작위용제제비출균균은정적용효,통과침지-제랍법장양화자박막침적재파리기저상,연구열처리공예대박막결정취향화표면형모적영향.수착단소온도화단소시간적증가,ZnO박막표면축점치밀평활,(002)봉적강도증대,정립척촌증대.실험결과표명:재500℃단소하단소량차,단소시간위1h제비적박막연사특정봉(002)최강,과립최균균,결합최치밀차박막표면광활평정.
