机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2013年
6期
197-199
,共3页
李学威%冯亚磊%马壮%王凤利%张金果
李學威%馮亞磊%馬壯%王鳳利%張金果
리학위%풍아뢰%마장%왕봉리%장금과
晶圆%真空传输机械手%控制特性%轨迹规划%同步控制%运动精度
晶圓%真空傳輸機械手%控製特性%軌跡規劃%同步控製%運動精度
정원%진공전수궤계수%공제특성%궤적규화%동보공제%운동정도
作为半导体行业的关键元件,晶圆对晶圆传输机械手的要求非常高.针对传统真空机械手在刚度、洁净度及寿命等方面的不足,提出一种新型连杆式真空传输机械手结构,可实现平面内任意直线轨迹规划运动,不仅结构简单,洁净度高,而且有效的提高了刚度及使用寿命.同时,根据真空传输机械手的结构建立其分析模型,推导运动学公式,对机械手驱动臂同步控制运动及电机同步控制精度进行了仿真分析,阐述了插值次数与运动精度之间的联系并优化得到最佳插值次数,为真空机械手机构的优化设计和平稳控制提供了理论基础.
作為半導體行業的關鍵元件,晶圓對晶圓傳輸機械手的要求非常高.針對傳統真空機械手在剛度、潔淨度及壽命等方麵的不足,提齣一種新型連桿式真空傳輸機械手結構,可實現平麵內任意直線軌跡規劃運動,不僅結構簡單,潔淨度高,而且有效的提高瞭剛度及使用壽命.同時,根據真空傳輸機械手的結構建立其分析模型,推導運動學公式,對機械手驅動臂同步控製運動及電機同步控製精度進行瞭倣真分析,闡述瞭插值次數與運動精度之間的聯繫併優化得到最佳插值次數,為真空機械手機構的優化設計和平穩控製提供瞭理論基礎.
작위반도체행업적관건원건,정원대정원전수궤계수적요구비상고.침대전통진공궤계수재강도、길정도급수명등방면적불족,제출일충신형련간식진공전수궤계수결구,가실현평면내임의직선궤적규화운동,불부결구간단,길정도고,이차유효적제고료강도급사용수명.동시,근거진공전수궤계수적결구건립기분석모형,추도운동학공식,대궤계수구동비동보공제운동급전궤동보공제정도진행료방진분석,천술료삽치차수여운동정도지간적련계병우화득도최가삽치차수,위진공궤계수궤구적우화설계화평은공제제공료이론기출.
