光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2013年
4期
417-422
,共6页
小磨头%超光滑加工%均匀去除%等值驻留时间
小磨頭%超光滑加工%均勻去除%等值駐留時間
소마두%초광활가공%균균거제%등치주류시간
超光滑加工通常是在保证光学元件面型精度不劣化前提下提升其中高频精度.均匀去除是保证超光滑加工过程中光学元件面型精度不劣化的重要途径.本文以四轴三联动小磨头超光滑加工机床为基础,结合Preston假设,研究了四轴三联动超光滑加工机床对光学元件的材料去除特性,发现当机床取某些特定的参量时,通过等值的驻留时间规划即可实现光学元件表面材料的均匀去除.最后,对这些特定的参量进行了对比实验,实验结果验证了理论分析的正确性,
超光滑加工通常是在保證光學元件麵型精度不劣化前提下提升其中高頻精度.均勻去除是保證超光滑加工過程中光學元件麵型精度不劣化的重要途徑.本文以四軸三聯動小磨頭超光滑加工機床為基礎,結閤Preston假設,研究瞭四軸三聯動超光滑加工機床對光學元件的材料去除特性,髮現噹機床取某些特定的參量時,通過等值的駐留時間規劃即可實現光學元件錶麵材料的均勻去除.最後,對這些特定的參量進行瞭對比實驗,實驗結果驗證瞭理論分析的正確性,
초광활가공통상시재보증광학원건면형정도불열화전제하제승기중고빈정도.균균거제시보증초광활가공과정중광학원건면형정도불열화적중요도경.본문이사축삼련동소마두초광활가공궤상위기출,결합Preston가설,연구료사축삼련동초광활가공궤상대광학원건적재료거제특성,발현당궤상취모사특정적삼량시,통과등치적주류시간규화즉가실현광학원건표면재료적균균거제.최후,대저사특정적삼량진행료대비실험,실험결과험증료이론분석적정학성,