中国科技论文
中國科技論文
중국과기논문
Sciencepaper Online
2013年
4期
291-294
,共4页
许钦印%日比康词%陈健%康琳%吴培亨
許欽印%日比康詞%陳健%康琳%吳培亨
허흠인%일비강사%진건%강림%오배형
超导电子%半导体读出电路%超导体太赫兹检测器
超導電子%半導體讀齣電路%超導體太赫玆檢測器
초도전자%반도체독출전로%초도체태혁자검측기
在制作基于二维超导检测阵列的太赫兹成像系统时,为了降低系统噪声,提高灵敏度、运行速度和工作稳定性,设计了一种集成低噪声低温半导体读出电路的高灵敏度超导太赫兹检测系统.基于Nb/Al/AlOx/Al/Nb超导隧道结制备了超导太赫兹直接检测器,使用半导体砷化镓结型场效应晶体管制备低温读出电路,并将超导体元器件和半导体元器件集成在同一块芯片上,避免了传统工艺中常用的连接导线或者焊盘.将集成芯片设计成直径为12mm的圆形芯片,与耦合太赫兹波信号的硅超半球透镜的尺寸一致,并将检测器天线制备在集成芯片中心处,解决了太赫兹波的耦合等问题.
在製作基于二維超導檢測陣列的太赫玆成像繫統時,為瞭降低繫統譟聲,提高靈敏度、運行速度和工作穩定性,設計瞭一種集成低譟聲低溫半導體讀齣電路的高靈敏度超導太赫玆檢測繫統.基于Nb/Al/AlOx/Al/Nb超導隧道結製備瞭超導太赫玆直接檢測器,使用半導體砷化鎵結型場效應晶體管製備低溫讀齣電路,併將超導體元器件和半導體元器件集成在同一塊芯片上,避免瞭傳統工藝中常用的連接導線或者銲盤.將集成芯片設計成直徑為12mm的圓形芯片,與耦閤太赫玆波信號的硅超半毬透鏡的呎吋一緻,併將檢測器天線製備在集成芯片中心處,解決瞭太赫玆波的耦閤等問題.
재제작기우이유초도검측진렬적태혁자성상계통시,위료강저계통조성,제고령민도、운행속도화공작은정성,설계료일충집성저조성저온반도체독출전로적고령민도초도태혁자검측계통.기우Nb/Al/AlOx/Al/Nb초도수도결제비료초도태혁자직접검측기,사용반도체신화가결형장효응정체관제비저온독출전로,병장초도체원기건화반도체원기건집성재동일괴심편상,피면료전통공예중상용적련접도선혹자한반.장집성심편설계성직경위12mm적원형심편,여우합태혁자파신호적규초반구투경적척촌일치,병장검측기천선제비재집성심편중심처,해결료태혁자파적우합등문제.
