制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2013年
8期
15-16
,共2页
张钦亮%苏静洪%王谟%平志韩
張欽亮%囌靜洪%王謨%平誌韓
장흠량%소정홍%왕모%평지한
等离子体刻蚀机%传片系统%自动化
等離子體刻蝕機%傳片繫統%自動化
등리자체각식궤%전편계통%자동화
为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,本文研发设计了一种等离子体刻蚀机的新型传片系统,该传片系统可一次预装3盘、6盘或更多盘数晶片,并由全自动机械手自动传输,实现了多盘连续自动化刻蚀,提高了生产效率.
為實現高效連續自動化生產,滿足大規模工業化生產需求,本文研髮設計瞭一種等離子體刻蝕機的新型傳片繫統,該傳片繫統可一次預裝3盤、6盤或更多盤數晶片,併由全自動機械手自動傳輸,實現瞭多盤連續自動化刻蝕,提高瞭生產效率.
위실현고효련속자동화생산,만족대규모공업화생산수구,본문연발설계료일충등리자체각식궤적신형전편계통,해전편계통가일차예장3반、6반혹경다반수정편,병유전자동궤계수자동전수,실현료다반련속자동화각식,제고료생산효솔.
