电镀与涂饰
電鍍與塗飾
전도여도식
ELECTROPLATING & FINISHING
2013年
6期
19-21
,共3页
黄平%张营营%张斌%范梅梅%李兴杰%强力
黃平%張營營%張斌%範梅梅%李興傑%彊力
황평%장영영%장빈%범매매%리흥걸%강력
挺柱%类金刚石%薄膜%磁控溅射%摩擦%磨损
挺柱%類金剛石%薄膜%磁控濺射%摩抆%磨損
정주%류금강석%박막%자공천사%마찰%마손
tappet%diamond-like carbon%thin film%magnetron sputtering%friction%wear
采用磁控溅射法,以Cr、Ti和石墨为靶材,Ar、N2和CH4为溅射气体,在材料为20CrMo的发动机挺柱上利用多层梯度复合技术沉积了低摩擦类金刚石(DLC)薄膜复合层CrTi/CrTiN/CrTiC/DLC.该薄膜复合层的纳米压痕硬度高达13 GPa,结合力为50 N,表面粗糙度为0.398 nm.在SRV-IV微动摩擦磨损试验机上进行耐磨损试验后,DLC复合薄膜挺柱的磨损率为渗碳挺柱的1/6.该研究技术具有自主知识产权,实现了挺柱批量化覆膜加工,并有望在发动机主要摩擦副上推广应用.
採用磁控濺射法,以Cr、Ti和石墨為靶材,Ar、N2和CH4為濺射氣體,在材料為20CrMo的髮動機挺柱上利用多層梯度複閤技術沉積瞭低摩抆類金剛石(DLC)薄膜複閤層CrTi/CrTiN/CrTiC/DLC.該薄膜複閤層的納米壓痕硬度高達13 GPa,結閤力為50 N,錶麵粗糙度為0.398 nm.在SRV-IV微動摩抆磨損試驗機上進行耐磨損試驗後,DLC複閤薄膜挺柱的磨損率為滲碳挺柱的1/6.該研究技術具有自主知識產權,實現瞭挺柱批量化覆膜加工,併有望在髮動機主要摩抆副上推廣應用.
채용자공천사법,이Cr、Ti화석묵위파재,Ar、N2화CH4위천사기체,재재료위20CrMo적발동궤정주상이용다층제도복합기술침적료저마찰류금강석(DLC)박막복합층CrTi/CrTiN/CrTiC/DLC.해박막복합층적납미압흔경도고체13 GPa,결합력위50 N,표면조조도위0.398 nm.재SRV-IV미동마찰마손시험궤상진행내마손시험후,DLC복합박막정주적마손솔위삼탄정주적1/6.해연구기술구유자주지식산권,실현료정주비양화복막가공,병유망재발동궤주요마찰부상추엄응용.
