长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
1期
70-73,69
,共5页
石广丰%刘哲%史国权%徐志伟%蔡洪彬
石廣豐%劉哲%史國權%徐誌偉%蔡洪彬
석엄봉%류철%사국권%서지위%채홍빈
光栅铝膜%纳米压痕%尺寸效应
光柵鋁膜%納米壓痕%呎吋效應
광책려막%납미압흔%척촌효응
grating aluminum film%nano-indentation%size effect
研究光栅铝膜尺寸效应对于指导衍射光栅机械刻划工艺十分重要,对现有光栅铝膜进行了纳米压痕实验,从实验中获得光栅铝膜材料的力学性能参数.通过实验数据可知,光栅铝膜材料在微米级范围内存在明显的尺寸效应.利用三种尺寸效应模型Meyer模型、PSR模型及MPSR模型对光栅铝膜材料尺寸效应进行描述并分析,说明了几种模型在不同压深情况下的有效性.
研究光柵鋁膜呎吋效應對于指導衍射光柵機械刻劃工藝十分重要,對現有光柵鋁膜進行瞭納米壓痕實驗,從實驗中穫得光柵鋁膜材料的力學性能參數.通過實驗數據可知,光柵鋁膜材料在微米級範圍內存在明顯的呎吋效應.利用三種呎吋效應模型Meyer模型、PSR模型及MPSR模型對光柵鋁膜材料呎吋效應進行描述併分析,說明瞭幾種模型在不同壓深情況下的有效性.
연구광책려막척촌효응대우지도연사광책궤계각화공예십분중요,대현유광책려막진행료납미압흔실험,종실험중획득광책려막재료적역학성능삼수.통과실험수거가지,광책려막재료재미미급범위내존재명현적척촌효응.이용삼충척촌효응모형Meyer모형、PSR모형급MPSR모형대광책려막재료척촌효응진행묘술병분석,설명료궤충모형재불동압심정황하적유효성.
