长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
1期
36-39
,共4页
李博%高艺%王红平%曹国华%柳常清
李博%高藝%王紅平%曹國華%柳常清
리박%고예%왕홍평%조국화%류상청
二维PSD%微位移平台%非线性校正%人工神经网络
二維PSD%微位移平檯%非線性校正%人工神經網絡
이유PSD%미위이평태%비선성교정%인공신경망락
2D-PSD%micro displacement platform%nonlinear correction%artificial neural network
为了提高位置敏感探测器(PSD)的测量精度,减少其非线性带来的误差,设计了基于微位移平台的在线数据采集与校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行了数据采集和线性化实验研究,并对线性化结果进行了误差仿真分析.实验结果表明,设计的线性化算法真实有效,采用该方法校正后PSD的最大线性度误差为3.3μm,大幅减小了PSD的非线性,在不增加成本和设备复杂度的前提下大幅提高了PSD的测量精度和数据置信度,具有很高的实用价值.
為瞭提高位置敏感探測器(PSD)的測量精度,減少其非線性帶來的誤差,設計瞭基于微位移平檯的在線數據採集與校定裝置,提齣瞭基于BP神經網絡的非線性校正算法,進行瞭數據採集和線性化實驗研究,併對線性化結果進行瞭誤差倣真分析.實驗結果錶明,設計的線性化算法真實有效,採用該方法校正後PSD的最大線性度誤差為3.3μm,大幅減小瞭PSD的非線性,在不增加成本和設備複雜度的前提下大幅提高瞭PSD的測量精度和數據置信度,具有很高的實用價值.
위료제고위치민감탐측기(PSD)적측량정도,감소기비선성대래적오차,설계료기우미위이평태적재선수거채집여교정장치,제출료기우BP신경망락적비선성교정산법,진행료수거채집화선성화실험연구,병대선성화결과진행료오차방진분석.실험결과표명,설계적선성화산법진실유효,채용해방법교정후PSD적최대선성도오차위3.3μm,대폭감소료PSD적비선성,재불증가성본화설비복잡도적전제하대폭제고료PSD적측량정도화수거치신도,구유흔고적실용개치.
