地震地磁观测与研究
地震地磁觀測與研究
지진지자관측여연구
SEISMOLOGICAL AND GEOMAGNETIC OBSERVATION AND RESEARCH
2013年
1期
205-211
,共7页
李建飞%薛兵%张俊峰%朱小毅%王晓蕾
李建飛%薛兵%張俊峰%硃小毅%王曉蕾
리건비%설병%장준봉%주소의%왕효뢰
恒温系统%MEMS加速度计%零点漂移%低功耗
恆溫繫統%MEMS加速度計%零點漂移%低功耗
항온계통%MEMS가속도계%영점표이%저공모
介绍一种小型恒温系统的实现方法,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而改善MEMS加速度计的相关技术指标.小型恒温系统采用独特工艺,实现简单；恒温点可以根据环境温度的变化而改变,以降低功耗.实验结果表明,应用该系统的MEMS加速度计,由温度所引起的零点漂移值明显减小.
介紹一種小型恆溫繫統的實現方法,使MEMS加速度計的工作區域溫度保持恆定,從而改善MEMS加速度計的相關技術指標.小型恆溫繫統採用獨特工藝,實現簡單；恆溫點可以根據環境溫度的變化而改變,以降低功耗.實驗結果錶明,應用該繫統的MEMS加速度計,由溫度所引起的零點漂移值明顯減小.
개소일충소형항온계통적실현방법,사MEMS가속도계적공작구역온도보지항정,종이개선MEMS가속도계적상관기술지표.소형항온계통채용독특공예,실현간단；항온점가이근거배경온도적변화이개변,이강저공모.실험결과표명,응용해계통적MEMS가속도계,유온도소인기적영점표이치명현감소.
