军械工程学院学报
軍械工程學院學報
군계공정학원학보
JOURNAL OF ORDNANCE ENGINEERING COLLEGE
2013年
2期
35-38
,共4页
刘加凯%齐杏林%冯建伟%徐龙%肖东
劉加凱%齊杏林%馮建偉%徐龍%肖東
류가개%제행림%풍건위%서룡%초동
金属MEMS器件%可靠性试验%惯性开关%失效模式
金屬MEMS器件%可靠性試驗%慣性開關%失效模式
금속MEMS기건%가고성시험%관성개관%실효모식
metal MEMS component%reliability test%inertia switch%failure mode
针对金属类MEMS机构可靠性水平较低且没有标准化的可靠性试验方法的现状,提出将强化试验方法引入金属类MEMS机构的可靠性研究中.确定强化试验的内容为温度循环、随机振动和冲击试验,并分别设计试验剖面.选取MEMS惯性开关作为典型器件开展试验研究,试验结果表明,所设计的可靠性试验能够有效激发MEMS机构的潜在缺陷,温度应力易引起MEMS器件层间产生疲劳效应,而振动和冲击应力则易引发器件结构性损坏；环境应力对MEMS机构具有疲劳累积效应,经历较多试验类型的样本较经历较少试验类型的样本更容易失效；惯性开关的主要失效模式是分层和变形,这2种失效模式在金属类MEMS机构中具有代表性.
針對金屬類MEMS機構可靠性水平較低且沒有標準化的可靠性試驗方法的現狀,提齣將彊化試驗方法引入金屬類MEMS機構的可靠性研究中.確定彊化試驗的內容為溫度循環、隨機振動和遲擊試驗,併分彆設計試驗剖麵.選取MEMS慣性開關作為典型器件開展試驗研究,試驗結果錶明,所設計的可靠性試驗能夠有效激髮MEMS機構的潛在缺陷,溫度應力易引起MEMS器件層間產生疲勞效應,而振動和遲擊應力則易引髮器件結構性損壞；環境應力對MEMS機構具有疲勞纍積效應,經歷較多試驗類型的樣本較經歷較少試驗類型的樣本更容易失效；慣性開關的主要失效模式是分層和變形,這2種失效模式在金屬類MEMS機構中具有代錶性.
침대금속류MEMS궤구가고성수평교저차몰유표준화적가고성시험방법적현상,제출장강화시험방법인입금속류MEMS궤구적가고성연구중.학정강화시험적내용위온도순배、수궤진동화충격시험,병분별설계시험부면.선취MEMS관성개관작위전형기건개전시험연구,시험결과표명,소설계적가고성시험능구유효격발MEMS궤구적잠재결함,온도응력역인기MEMS기건층간산생피로효응,이진동화충격응력칙역인발기건결구성손배；배경응력대MEMS궤구구유피로루적효응,경력교다시험류형적양본교경력교소시험류형적양본경용역실효；관성개관적주요실효모식시분층화변형,저2충실효모식재금속류MEMS궤구중구유대표성.
