真空
真空
진공
VACUUM
2013年
3期
66-69
,共4页
蒙志林%赵广彬%葛高峰%谭刚%廖凤娟
矇誌林%趙廣彬%葛高峰%譚剛%廖鳳娟
몽지림%조엄빈%갈고봉%담강%료봉연
多弧离子镀%TiN/TiCrN/CrN%多元多层复合膜
多弧離子鍍%TiN/TiCrN/CrN%多元多層複閤膜
다호리자도%TiN/TiCrN/CrN%다원다층복합막
采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜.利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N.
採用XH-800多弧離子鍍設備在硬質閤金刀具錶麵製備TiN/TiCrN/CrN多元多層複閤膜.利用XRD、SEM、顯微硬度計、多功能材料錶麵性能測試儀等對其組織結構與性能進行瞭研究.結果錶明:膜層錶麵均勻,未齣現龜裂現象,色澤光亮度好;膜的相結構組成為TiN和Cr2N,隨著Cr靶電流的增大,TiN的擇優取嚮由(200)嚮(111)轉變,膜層齣現單質Cr;膜層厚度為5.02μm,具有明顯多層特徵;顯微硬度2536 HV;結閤力65 N.
채용XH-800다호리자도설비재경질합금도구표면제비TiN/TiCrN/CrN다원다층복합막.이용XRD、SEM、현미경도계、다공능재료표면성능측시의등대기조직결구여성능진행료연구.결과표명:막층표면균균,미출현구렬현상,색택광량도호;막적상결구조성위TiN화Cr2N,수착Cr파전류적증대,TiN적택우취향유(200)향(111)전변,막층출현단질Cr;막층후도위5.02μm,구유명현다층특정;현미경도2536 HV;결합력65 N.
