真空
真空
진공
VACUUM
2013年
3期
63-65
,共3页
范喜迎%黄美东%李洪玉%刘野%许世鹏%薛利%潘玉鹏
範喜迎%黃美東%李洪玉%劉野%許世鵬%薛利%潘玉鵬
범희영%황미동%리홍옥%류야%허세붕%설리%반옥붕
电弧离子镀%CrN薄膜%氮气流量%结构%性能
電弧離子鍍%CrN薄膜%氮氣流量%結構%性能
전호리자도%CrN박막%담기류량%결구%성능
利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构.实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具有较为明显的影响.
利用電弧離子鍍技術在高速鋼基體上于不同氮氣流量條件下製備CrN薄膜樣品,通過納米壓痕儀、XP-2檯階儀、SEM和XRD測試分析瞭薄膜的硬度、彈性模量、厚度、錶麵形貌和物相結構.實驗結果錶明,氮氣流量對CrN薄膜的組織結構和力學性能都具有較為明顯的影響.
이용전호리자도기술재고속강기체상우불동담기류량조건하제비CrN박막양품,통과납미압흔의、XP-2태계의、SEM화XRD측시분석료박막적경도、탄성모량、후도、표면형모화물상결구.실험결과표명,담기류량대CrN박막적조직결구화역학성능도구유교위명현적영향.
