真空
真空
진공
VACUUM
2013年
3期
52-56
,共5页
魏科科%林菁菁%张林%韩克昌%林国强
魏科科%林菁菁%張林%韓剋昌%林國彊
위과과%림정정%장림%한극창%림국강
脉冲偏压电弧离子镀%TiN-Cu纳米复合薄膜%硬度%弹性模量%强化机制
脈遲偏壓電弧離子鍍%TiN-Cu納米複閤薄膜%硬度%彈性模量%彊化機製
맥충편압전호리자도%TiN-Cu납미복합박막%경도%탄성모량%강화궤제
用脉冲偏压电弧离子镀技术在高速钢(HSS)基体上制备了一系列不同Cu含量的TiN-Cu纳米复合薄膜,用EPMA、SEM、GIXRD和纳米压痕等方法分别测试了薄膜的成分、形貌、相组成、硬度和弹性模量,重点考察薄膜成分对其硬度和弹性模量的影响.结果表明,Cu含量对薄膜的硬度和弹性模量影响显著,随着Cu含量的增加,薄膜硬度和弹性模量先增大后减小,在Cu含量为1.28 at％时,硬度和弹性模量达到最大值,分别为45.0 GPa和562.0 GPa.最后对TiN-Cu纳米复合薄膜的非晶-纳米晶强化机制进行了讨论.
用脈遲偏壓電弧離子鍍技術在高速鋼(HSS)基體上製備瞭一繫列不同Cu含量的TiN-Cu納米複閤薄膜,用EPMA、SEM、GIXRD和納米壓痕等方法分彆測試瞭薄膜的成分、形貌、相組成、硬度和彈性模量,重點攷察薄膜成分對其硬度和彈性模量的影響.結果錶明,Cu含量對薄膜的硬度和彈性模量影響顯著,隨著Cu含量的增加,薄膜硬度和彈性模量先增大後減小,在Cu含量為1.28 at％時,硬度和彈性模量達到最大值,分彆為45.0 GPa和562.0 GPa.最後對TiN-Cu納米複閤薄膜的非晶-納米晶彊化機製進行瞭討論.
용맥충편압전호리자도기술재고속강(HSS)기체상제비료일계렬불동Cu함량적TiN-Cu납미복합박막,용EPMA、SEM、GIXRD화납미압흔등방법분별측시료박막적성분、형모、상조성、경도화탄성모량,중점고찰박막성분대기경도화탄성모량적영향.결과표명,Cu함량대박막적경도화탄성모량영향현저,수착Cu함량적증가,박막경도화탄성모량선증대후감소,재Cu함량위1.28 at％시,경도화탄성모량체도최대치,분별위45.0 GPa화562.0 GPa.최후대TiN-Cu납미복합박막적비정-납미정강화궤제진행료토론.
