真空
真空
진공
VACUUM
2013年
3期
48-51
,共4页
林晶%钱锋%李恒%樊涛%于贵文%王鹤腾
林晶%錢鋒%李恆%樊濤%于貴文%王鶴騰
림정%전봉%리항%번도%우귀문%왕학등
镀膜机%圆柱靶%工件篮
鍍膜機%圓柱靶%工件籃
도막궤%원주파%공건람
本文阐述了新型的弧光辉光协同共放电真空镀膜机的设计思想及应用,叙述了镀膜机的整体结构、圆柱靶的设计和磁场模拟、工件篮的结构和辉光弧光共放电的原理.实验对比了辉光弧光共放电和单独的辉光放电、弧光放电在镀膜速度、膜层硬度和耐蚀性等方面的差别,表明了这种新型镀膜机的优越性.
本文闡述瞭新型的弧光輝光協同共放電真空鍍膜機的設計思想及應用,敘述瞭鍍膜機的整體結構、圓柱靶的設計和磁場模擬、工件籃的結構和輝光弧光共放電的原理.實驗對比瞭輝光弧光共放電和單獨的輝光放電、弧光放電在鍍膜速度、膜層硬度和耐蝕性等方麵的差彆,錶明瞭這種新型鍍膜機的優越性.
본문천술료신형적호광휘광협동공방전진공도막궤적설계사상급응용,서술료도막궤적정체결구、원주파적설계화자장모의、공건람적결구화휘광호광공방전적원리.실험대비료휘광호광공방전화단독적휘광방전、호광방전재도막속도、막층경도화내식성등방면적차별,표명료저충신형도막궤적우월성.
