真空
真空
진공
VACUUM
2013年
3期
1-5
,共5页
卢耀文%陈旭%李得天%齐京%查良镇
盧耀文%陳旭%李得天%齊京%查良鎮
로요문%진욱%리득천%제경%사량진
校准装置%校准方法%便携式%真空计
校準裝置%校準方法%便攜式%真空計
교준장치%교준방법%편휴식%진공계
在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置.将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33 × 105 Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围.实验结果表明,装置的校准范围为105 Pa~10-5 Pa,合成标准不确定度为1.3%~2.5%.装置的外形尺寸为450 mm×400 mm× 750 mm,总重量小于35 kg,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准.
在原有基礎上研製齣複閤型便攜式真空計校準裝置.將靜態比較法、靜態膨脹法及動態流量法複閤在一檯裝置上,僅採用一檯滿量程為1.33 × 105 Pa的電容薄膜真空計作為參攷標準,實現較寬的真空度校準範圍.實驗結果錶明,裝置的校準範圍為105 Pa~10-5 Pa,閤成標準不確定度為1.3%~2.5%.裝置的外形呎吋為450 mm×400 mm× 750 mm,總重量小于35 kg,在原有校準裝置的基礎上減小瞭重量和成本,更適用于許多應用領域中真空計的現場校準.
재원유기출상연제출복합형편휴식진공계교준장치.장정태비교법、정태팽창법급동태류량법복합재일태장치상,부채용일태만량정위1.33 × 105 Pa적전용박막진공계작위삼고표준,실현교관적진공도교준범위.실험결과표명,장치적교준범위위105 Pa~10-5 Pa,합성표준불학정도위1.3%~2.5%.장치적외형척촌위450 mm×400 mm× 750 mm,총중량소우35 kg,재원유교준장치적기출상감소료중량화성본,경괄용우허다응용영역중진공계적현장교준.