真空
真空
진공
VACUUM
2013年
3期
6-9
,共4页
高功率脉冲磁控溅射%可调脉冲电源%放电特性%单片机
高功率脈遲磁控濺射%可調脈遲電源%放電特性%單片機
고공솔맥충자공천사%가조맥충전원%방전특성%단편궤
可调脉冲电源MPP(modulated pulsed power)磁控溅射技术是一种新型的高功率磁控溅射技术.基于STC12C5A60S2单片机为控制单元研制了MPP电源.电源可以输出多种脉冲波形,能够实现优化的高功率脉冲磁控溅射工艺.MPP放电模式表现为初始的弱放电和随后的高功率大电流放电行为.MPP放电电压影响着高功率放电电流和脉冲宽度,而放电气压主要影响起辉时刻,但对放电电流大小影响不大.引入引燃脉冲可实现低气压下的高功率大电流放电.
可調脈遲電源MPP(modulated pulsed power)磁控濺射技術是一種新型的高功率磁控濺射技術.基于STC12C5A60S2單片機為控製單元研製瞭MPP電源.電源可以輸齣多種脈遲波形,能夠實現優化的高功率脈遲磁控濺射工藝.MPP放電模式錶現為初始的弱放電和隨後的高功率大電流放電行為.MPP放電電壓影響著高功率放電電流和脈遲寬度,而放電氣壓主要影響起輝時刻,但對放電電流大小影響不大.引入引燃脈遲可實現低氣壓下的高功率大電流放電.
가조맥충전원MPP(modulated pulsed power)자공천사기술시일충신형적고공솔자공천사기술.기우STC12C5A60S2단편궤위공제단원연제료MPP전원.전원가이수출다충맥충파형,능구실현우화적고공솔맥충자공천사공예.MPP방전모식표현위초시적약방전화수후적고공솔대전류방전행위.MPP방전전압영향착고공솔방전전류화맥충관도,이방전기압주요영향기휘시각,단대방전전류대소영향불대.인입인연맥충가실현저기압하적고공솔대전류방전.
