青岛大学学报（自然科学版）
青島大學學報（自然科學版）
청도대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
2期
30-33
,共4页
耿广州%单福凯%张倩%刘国侠%Shin B.C.%Lee W.J.%Kim I.S.
耿廣州%單福凱%張倩%劉國俠%Shin B.C.%Lee W.J.%Kim I.S.
경엄주%단복개%장천%류국협%Shin B.C.%Lee W.J.%Kim I.S.
NiO%磁控溅射%镍空位%间隙氧
NiO%磁控濺射%鎳空位%間隙氧
NiO%자공천사%얼공위%간극양
NiO%Magnetron sputtering%Nickel vacancy%Oxygen interstitial
采用射频磁控溅射法,以NiO靶材为溅射靶材,在不同温度玻璃衬底上制备了NiO薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、分光光度计以及四探针测试系统研究了温度对薄膜结构、光学和电学性能的影响.结果分析表明所有NiO薄膜都具有(111)方向的择优取向,并且晶格常数随温度升高而减小.NiO薄膜的晶粒尺寸和粗糙度也随着温度的升高而增大.由于NiO薄膜中镍空位和间隙氧的减少,薄膜的透过率、禁带宽度以及电阻率都随温度的升高而增大.
採用射頻磁控濺射法,以NiO靶材為濺射靶材,在不同溫度玻璃襯底上製備瞭NiO薄膜.利用X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、分光光度計以及四探針測試繫統研究瞭溫度對薄膜結構、光學和電學性能的影響.結果分析錶明所有NiO薄膜都具有(111)方嚮的擇優取嚮,併且晶格常數隨溫度升高而減小.NiO薄膜的晶粒呎吋和粗糙度也隨著溫度的升高而增大.由于NiO薄膜中鎳空位和間隙氧的減少,薄膜的透過率、禁帶寬度以及電阻率都隨溫度的升高而增大.
채용사빈자공천사법,이NiO파재위천사파재,재불동온도파리츤저상제비료NiO박막.이용X사선연사의(XRD)、원자력현미경(AFM)、소묘전자현미경(SEM)、분광광도계이급사탐침측시계통연구료온도대박막결구、광학화전학성능적영향.결과분석표명소유NiO박막도구유(111)방향적택우취향,병차정격상수수온도승고이감소.NiO박막적정립척촌화조조도야수착온도적승고이증대.유우NiO박막중얼공위화간극양적감소,박막적투과솔、금대관도이급전조솔도수온도적승고이증대.
