光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
6期
1531-1536
,共6页
黎永前%李薇%郭勇君%苏磊
黎永前%李薇%郭勇君%囌磊
려영전%리미%곽용군%소뢰
体硅加工%湿法腐蚀%各向异性%各向同性%硅模具%三维曲面
體硅加工%濕法腐蝕%各嚮異性%各嚮同性%硅模具%三維麯麵
체규가공%습법부식%각향이성%각향동성%규모구%삼유곡면
silicon processing%wet etching%anisotropic%isotropic%silicon mold%three-dimension curved profile
提出了将各向异性湿法腐蚀与各向同性湿法腐蚀相结合的复合工艺,通过控制刻蚀工艺参数进行体硅加工,成功刻蚀了硅基材料三维曲面回转体结构.在各向同性腐蚀过程中,由各向异性刻蚀得到的多面体结构的表面垂直腐蚀速率与刻蚀液浓度呈指数关系,而搅拌使得多面体结构表面峰值与谷底的刻蚀液存在流速差,基于此原理可得到光滑的三维曲面.刻蚀过程中,通过各向异性湿法腐蚀控制结构深度,通过各向同性湿法腐蚀"抛光"结构曲面.最后,采用实验优化湿法腐蚀过程的工艺参数,基于直径为600～1 000 μm的圆形掩模板,在硅材料表面制备得到了高度为100～200μm的三维曲面回转结构.提出的工艺简单、有效且便于操作,有望用于制作不同曲面形状的三维硅结构及聚合物光学器件模具.
提齣瞭將各嚮異性濕法腐蝕與各嚮同性濕法腐蝕相結閤的複閤工藝,通過控製刻蝕工藝參數進行體硅加工,成功刻蝕瞭硅基材料三維麯麵迴轉體結構.在各嚮同性腐蝕過程中,由各嚮異性刻蝕得到的多麵體結構的錶麵垂直腐蝕速率與刻蝕液濃度呈指數關繫,而攪拌使得多麵體結構錶麵峰值與穀底的刻蝕液存在流速差,基于此原理可得到光滑的三維麯麵.刻蝕過程中,通過各嚮異性濕法腐蝕控製結構深度,通過各嚮同性濕法腐蝕"拋光"結構麯麵.最後,採用實驗優化濕法腐蝕過程的工藝參數,基于直徑為600～1 000 μm的圓形掩模闆,在硅材料錶麵製備得到瞭高度為100～200μm的三維麯麵迴轉結構.提齣的工藝簡單、有效且便于操作,有望用于製作不同麯麵形狀的三維硅結構及聚閤物光學器件模具.
제출료장각향이성습법부식여각향동성습법부식상결합적복합공예,통과공제각식공예삼수진행체규가공,성공각식료규기재료삼유곡면회전체결구.재각향동성부식과정중,유각향이성각식득도적다면체결구적표면수직부식속솔여각식액농도정지수관계,이교반사득다면체결구표면봉치여곡저적각식액존재류속차,기우차원리가득도광활적삼유곡면.각식과정중,통과각향이성습법부식공제결구심도,통과각향동성습법부식"포광"결구곡면.최후,채용실험우화습법부식과정적공예삼수,기우직경위600～1 000 μm적원형엄모판,재규재료표면제비득도료고도위100～200μm적삼유곡면회전결구.제출적공예간단、유효차편우조작,유망용우제작불동곡면형상적삼유규결구급취합물광학기건모구.
