光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
6期
1524-1530
,共7页
干涉显微镜%三角放大原理%步进式压电作动器%结构优化%干涉条纹
榦涉顯微鏡%三角放大原理%步進式壓電作動器%結構優化%榦涉條紋
간섭현미경%삼각방대원리%보진식압전작동기%결구우화%간섭조문
interference microscope%triangle amplification principle%step piezoelectric actuator%structure optimization%interference fringe
提出了应用于干涉显微镜焦距调节的直线压电叠堆作动器和微动台.介绍了基于三角位移放大原理的压电作动器结构设计,利用ANSYS的APDL语言实现了对作动器钢架结构的建模,并采用Optimus中自带的差分进化算法(DE)对其结构尺寸进行了优化.制作了实验样机,激光干涉实验表明:当驱动电压信号幅值为40～100 V时,作动器位移放大倍数可以达到7.最后,将设计的直线作动器作为驱动核心安装在自行设计的微动台上,然后将组成的系统用于光学干涉显微镜.实验显示,整个系统在电压为24～40 V,阶梯增量电压为0.8V时,步进分辨率可达23 nm,满足干涉显微镜细分干涉条纹所需要的直线位移分辨率的要求.
提齣瞭應用于榦涉顯微鏡焦距調節的直線壓電疊堆作動器和微動檯.介紹瞭基于三角位移放大原理的壓電作動器結構設計,利用ANSYS的APDL語言實現瞭對作動器鋼架結構的建模,併採用Optimus中自帶的差分進化算法(DE)對其結構呎吋進行瞭優化.製作瞭實驗樣機,激光榦涉實驗錶明:噹驅動電壓信號幅值為40～100 V時,作動器位移放大倍數可以達到7.最後,將設計的直線作動器作為驅動覈心安裝在自行設計的微動檯上,然後將組成的繫統用于光學榦涉顯微鏡.實驗顯示,整箇繫統在電壓為24～40 V,階梯增量電壓為0.8V時,步進分辨率可達23 nm,滿足榦涉顯微鏡細分榦涉條紋所需要的直線位移分辨率的要求.
제출료응용우간섭현미경초거조절적직선압전첩퇴작동기화미동태.개소료기우삼각위이방대원리적압전작동기결구설계,이용ANSYS적APDL어언실현료대작동기강가결구적건모,병채용Optimus중자대적차분진화산법(DE)대기결구척촌진행료우화.제작료실험양궤,격광간섭실험표명:당구동전압신호폭치위40～100 V시,작동기위이방대배수가이체도7.최후,장설계적직선작동기작위구동핵심안장재자행설계적미동태상,연후장조성적계통용우광학간섭현미경.실험현시,정개계통재전압위24～40 V,계제증량전압위0.8V시,보진분변솔가체23 nm,만족간섭현미경세분간섭조문소수요적직선위이분변솔적요구.
