北京石油化工学院学报
北京石油化工學院學報
북경석유화공학원학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF PETRO-CHEMICAL TECHNOLOGY
2013年
2期
17-21
,共5页
杨英歌%卢一民%王新如%李小波
楊英歌%盧一民%王新如%李小波
양영가%로일민%왕신여%리소파
ZAO薄膜%射频磁控溅射%原子力显微镜%黏附力
ZAO薄膜%射頻磁控濺射%原子力顯微鏡%黏附力
ZAO박막%사빈자공천사%원자력현미경%점부력
ZAO thin film%radio frequency magnetron sputtering%AFM%adhesion force
利用磁控溅射法在溅射功率分别为30,50,80,100W条件下制备ZAO薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)谱对制得的薄膜样品进行表面形貌、结构特性和黏附性能进行研究.XRD结果表明,随着溅射功率的增加,ZAO薄膜呈现了明显的(002)择优取向,结晶质量获得提高.通过原子力显微镜对样品的二维、三维以及剖面线图进行分析.随着溅射功率增大,薄膜样品表面较均匀致密,晶粒生长较充分,结晶质量较高,粗糙度和黏附力均增大.
利用磁控濺射法在濺射功率分彆為30,50,80,100W條件下製備ZAO薄膜,併通過原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射(XRD)譜對製得的薄膜樣品進行錶麵形貌、結構特性和黏附性能進行研究.XRD結果錶明,隨著濺射功率的增加,ZAO薄膜呈現瞭明顯的(002)擇優取嚮,結晶質量穫得提高.通過原子力顯微鏡對樣品的二維、三維以及剖麵線圖進行分析.隨著濺射功率增大,薄膜樣品錶麵較均勻緻密,晶粒生長較充分,結晶質量較高,粗糙度和黏附力均增大.
이용자공천사법재천사공솔분별위30,50,80,100W조건하제비ZAO박막,병통과원자력현미경(AFM)、X사선연사(XRD)보대제득적박막양품진행표면형모、결구특성화점부성능진행연구.XRD결과표명,수착천사공솔적증가,ZAO박막정현료명현적(002)택우취향,결정질량획득제고.통과원자력현미경대양품적이유、삼유이급부면선도진행분석.수착천사공솔증대,박막양품표면교균균치밀,정립생장교충분,결정질량교고,조조도화점부력균증대.