黑龙江科技学院学报
黑龍江科技學院學報
흑룡강과기학원학보
JOURNAL OF HEILONGJIANG INSTITUTE OF SCIENCE & TECHNOLOGY
2013年
3期
211-221
,共11页
聚焦离子束%纳米制造%先进制造
聚焦離子束%納米製造%先進製造
취초리자속%납미제조%선진제조
chrome wear-resisting cast iron%metallography of friction%nanometer modification
随着纳米科技的不断发展,核心功能器件的纳米制造作为相关设计与应用研究的桥梁和基础,其研究价值的重要性日益凸显.聚焦离子束(Focused ion beam,FIB)加工是面向纳米尺度制造的一项重要技术.在概述FIB工作原理的同时,介绍FIB纳米加工方法与关键工艺的发展状况,就溅射产额、再沉积和FIB纳米直写方法等展开讨论.并介绍FIB纳米加工技术在纳米功能器件制造和基础研究等领域的典型应用.对其未来的发展从装备和机理研究的角度进行了展望.
隨著納米科技的不斷髮展,覈心功能器件的納米製造作為相關設計與應用研究的橋樑和基礎,其研究價值的重要性日益凸顯.聚焦離子束(Focused ion beam,FIB)加工是麵嚮納米呎度製造的一項重要技術.在概述FIB工作原理的同時,介紹FIB納米加工方法與關鍵工藝的髮展狀況,就濺射產額、再沉積和FIB納米直寫方法等展開討論.併介紹FIB納米加工技術在納米功能器件製造和基礎研究等領域的典型應用.對其未來的髮展從裝備和機理研究的角度進行瞭展望.
수착납미과기적불단발전,핵심공능기건적납미제조작위상관설계여응용연구적교량화기출,기연구개치적중요성일익철현.취초리자속(Focused ion beam,FIB)가공시면향납미척도제조적일항중요기술.재개술FIB공작원리적동시,개소FIB납미가공방법여관건공예적발전상황,취천사산액、재침적화FIB납미직사방법등전개토론.병개소FIB납미가공기술재납미공능기건제조화기출연구등영역적전형응용.대기미래적발전종장비화궤리연구적각도진행료전망.
