广州化工
廣州化工
엄주화공
GUANGZHOU CHEMICAL INDUSTRY AND TECHNOLOGY
2014年
4期
11-12,40
,共3页
陈安银%杜惠蓉%高尚芬%杨莉
陳安銀%杜惠蓉%高尚芬%楊莉
진안은%두혜용%고상분%양리
电子级磷酸%生产工艺%市场应用%工业化发展
電子級燐痠%生產工藝%市場應用%工業化髮展
전자급린산%생산공예%시장응용%공업화발전
电子级磷酸常用于高精度、大规模集成电路以及精密电子元器件等生产过程中的清洗以及蚀刻阶段.随着各类高精度电子元器件的更新换代速度加快,对电子级磷酸控制微粒的要求也更高.已经工业化的MOS以及BVI级磷酸已经实现了工业生产,但是更加精细化的电子级磷酸市场依旧在发达国家垄断下,进口依赖度高,我国尚未有相应的工业化生产线,配套的检测设备以及分析方法也不甚健全.本文主要介绍电子级磷酸生产工艺及其市场应用,同时对电子级磷酸工业化发展战略进行了分析.
電子級燐痠常用于高精度、大規模集成電路以及精密電子元器件等生產過程中的清洗以及蝕刻階段.隨著各類高精度電子元器件的更新換代速度加快,對電子級燐痠控製微粒的要求也更高.已經工業化的MOS以及BVI級燐痠已經實現瞭工業生產,但是更加精細化的電子級燐痠市場依舊在髮達國傢壟斷下,進口依賴度高,我國尚未有相應的工業化生產線,配套的檢測設備以及分析方法也不甚健全.本文主要介紹電子級燐痠生產工藝及其市場應用,同時對電子級燐痠工業化髮展戰略進行瞭分析.
전자급린산상용우고정도、대규모집성전로이급정밀전자원기건등생산과정중적청세이급식각계단.수착각류고정도전자원기건적경신환대속도가쾌,대전자급린산공제미립적요구야경고.이경공업화적MOS이급BVI급린산이경실현료공업생산,단시경가정세화적전자급린산시장의구재발체국가롱단하,진구의뢰도고,아국상미유상응적공업화생산선,배투적검측설비이급분석방법야불심건전.본문주요개소전자급린산생산공예급기시장응용,동시대전자급린산공업화발전전략진행료분석.
