计算物理
計算物理
계산물리
CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS
2013年
3期
396-402
,共7页
高书侠%张素%孟秀兰%张连珠
高書俠%張素%孟秀蘭%張連珠
고서협%장소%맹수란%장련주
微空心阴极放电%阴极溅射%氮等离子体%Monte-Carlo模型
微空心陰極放電%陰極濺射%氮等離子體%Monte-Carlo模型
미공심음겁방전%음겁천사%담등리자체%Monte-Carlo모형
microhollow cathode discharge%sputtering of the cathode%nitrogen plasma%monte-carlo model
采用Monte Carlo方法模拟N2/Ti微空心阴极放电等离子体阴极溅射过程,其中,氮离子(N2+,N+)轰击阴极表面采用PIC/MC模型模拟.计算溅射钛原子的热化过程、钛原子的密度及其平均能量分布.结果表明,沿各方向溅射出的90％金属Ti原子所带的初始能量小于30 eV,其散射角主要分布在30°和60°之间；溅射Ti原子在离微空心阴极壁约0.04 mm处出现热化极大值.
採用Monte Carlo方法模擬N2/Ti微空心陰極放電等離子體陰極濺射過程,其中,氮離子(N2+,N+)轟擊陰極錶麵採用PIC/MC模型模擬.計算濺射鈦原子的熱化過程、鈦原子的密度及其平均能量分佈.結果錶明,沿各方嚮濺射齣的90％金屬Ti原子所帶的初始能量小于30 eV,其散射角主要分佈在30°和60°之間；濺射Ti原子在離微空心陰極壁約0.04 mm處齣現熱化極大值.
채용Monte Carlo방법모의N2/Ti미공심음겁방전등리자체음겁천사과정,기중,담리자(N2+,N+)굉격음겁표면채용PIC/MC모형모의.계산천사태원자적열화과정、태원자적밀도급기평균능량분포.결과표명,연각방향천사출적90％금속Ti원자소대적초시능량소우30 eV,기산사각주요분포재30°화60°지간；천사Ti원자재리미공심음겁벽약0.04 mm처출현열화겁대치.
