稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
6期
1165-1168
,共4页
赵勇%华云峰%王彦峰%李争显
趙勇%華雲峰%王彥峰%李爭顯
조용%화운봉%왕언봉%리쟁현
纳米复合Si-C-N超硬薄膜%显微结构%断裂韧性%摩擦系数%耐蚀性能
納米複閤Si-C-N超硬薄膜%顯微結構%斷裂韌性%摩抆繫數%耐蝕性能
납미복합Si-C-N초경박막%현미결구%단렬인성%마찰계수%내식성능
Si-C-N nanocomposite films%microstructure%fracture toughness%friction coefficient%corrosion resistance
采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在钛表面制备纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究薄膜的显微结构、相组成、硬度、韧性、摩擦学行为和耐蚀性能.结果表明,薄膜形成了C-C、C=C、N-C以及Si-C非晶复合组织结构.薄膜的硬度为(38.2±4.1) GPa,断裂韧性为(3.68±0.32) MPa·m1/2.薄膜的摩擦系数为0.23左右,具有良好的抗摩擦磨损能力.沉积Si-C-N薄膜的TA2试样在25℃、3.5％NaC1水溶液中的腐蚀速率为0.000 125 mm·a-1,是纯TA2的12.5％,具有良好的耐蚀性能.
採用電弧增彊磁控濺射(AEMS)技術在鈦錶麵製備納米複閤Si-C-N超硬薄膜,研究薄膜的顯微結構、相組成、硬度、韌性、摩抆學行為和耐蝕性能.結果錶明,薄膜形成瞭C-C、C=C、N-C以及Si-C非晶複閤組織結構.薄膜的硬度為(38.2±4.1) GPa,斷裂韌性為(3.68±0.32) MPa·m1/2.薄膜的摩抆繫數為0.23左右,具有良好的抗摩抆磨損能力.沉積Si-C-N薄膜的TA2試樣在25℃、3.5％NaC1水溶液中的腐蝕速率為0.000 125 mm·a-1,是純TA2的12.5％,具有良好的耐蝕性能.
채용전호증강자공천사(AEMS)기술재태표면제비납미복합Si-C-N초경박막,연구박막적현미결구、상조성、경도、인성、마찰학행위화내식성능.결과표명,박막형성료C-C、C=C、N-C이급Si-C비정복합조직결구.박막적경도위(38.2±4.1) GPa,단렬인성위(3.68±0.32) MPa·m1/2.박막적마찰계수위0.23좌우,구유량호적항마찰마손능력.침적Si-C-N박막적TA2시양재25℃、3.5％NaC1수용액중적부식속솔위0.000 125 mm·a-1,시순TA2적12.5％,구유량호적내식성능.
