东南大学学报（英文版）
東南大學學報（英文版）
동남대학학보（영문판）
JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY
2013年
2期
187-193
,共7页
集束型设备%调度%驻留时间%连续重入
集束型設備%調度%駐留時間%連續重入
집속형설비%조도%주류시간%련속중입
cluster tools%scheduling%residency time%continuous reentrancy
为了提升单臂集束型设备的利用率,优化动态到达晶圆驻留与连续重入的调度问题,提出了一种结构式启发式调度算法.在界定调度问题域的基础上,建立了非线性规划的调度模型,并以动态到达晶圆的最短完工时间为调度目标,构造了基于搜索可行机械手搬运路径的调度算法.最后,设计了仿真实验,并对调度算法进行了实验分析.结果表明,所提出的算法对于解决多种晶圆类型的调度问题以及单臂集束型晶圆制造设备在加工过程中由于驻留约束限制和连续重入而产生的冲突和死锁的问题是可行而有效的.
為瞭提升單臂集束型設備的利用率,優化動態到達晶圓駐留與連續重入的調度問題,提齣瞭一種結構式啟髮式調度算法.在界定調度問題域的基礎上,建立瞭非線性規劃的調度模型,併以動態到達晶圓的最短完工時間為調度目標,構造瞭基于搜索可行機械手搬運路徑的調度算法.最後,設計瞭倣真實驗,併對調度算法進行瞭實驗分析.結果錶明,所提齣的算法對于解決多種晶圓類型的調度問題以及單臂集束型晶圓製造設備在加工過程中由于駐留約束限製和連續重入而產生的遲突和死鎖的問題是可行而有效的.
위료제승단비집속형설비적이용솔,우화동태도체정원주류여련속중입적조도문제,제출료일충결구식계발식조도산법.재계정조도문제역적기출상,건립료비선성규화적조도모형,병이동태도체정원적최단완공시간위조도목표,구조료기우수색가행궤계수반운로경적조도산법.최후,설계료방진실험,병대조도산법진행료실험분석.결과표명,소제출적산법대우해결다충정원류형적조도문제이급단비집속형정원제조설비재가공과정중유우주류약속한제화련속중입이산생적충돌화사쇄적문제시가행이유효적.
