仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2013年
5期
7-9,28
,共4页
任琳%田润澜%齐兴龙%陈超
任琳%田潤瀾%齊興龍%陳超
임림%전윤란%제흥룡%진초
ZnO%VOC气体传感器%溶胶凝胶法%TiO2掺杂
ZnO%VOC氣體傳感器%溶膠凝膠法%TiO2摻雜
ZnO%VOC기체전감기%용효응효법%TiO2참잡
ZnO%VOC gas sensor%sol-gel%adding TiO2
通过溶胶-凝胶法制备ZnO凝胶,在300℃预烧结.为了得到不同尺寸的ZnO粉体,并对ZnO粉体进一步纯化,将预烧粉体在不同温度,500℃、700℃、900℃下缓慢烧结,最后将所得粉体涂附在陶瓷管上,在450℃下烧结制备成气敏元件.测试所得的气敏元件对丙酮、乙醇、甲苯这些VOC气体的灵敏性.实验结果表明,500℃下烧结的粉体所作成的器件,对气体具有最大的灵敏度,其原因为随着烧结温度的增加,ZnO的颗粒变大,从而限制了固体与气体的反应面积.再以TiO2材料为掺杂剂,研究掺杂后元件的气敏特性.乙醇和甲苯的最佳工作电流得到了降低,这一现象,将有助于降低器件的工作温度,这也是目前研究ZnO气体传感器主要需要解决的问题.
通過溶膠-凝膠法製備ZnO凝膠,在300℃預燒結.為瞭得到不同呎吋的ZnO粉體,併對ZnO粉體進一步純化,將預燒粉體在不同溫度,500℃、700℃、900℃下緩慢燒結,最後將所得粉體塗附在陶瓷管上,在450℃下燒結製備成氣敏元件.測試所得的氣敏元件對丙酮、乙醇、甲苯這些VOC氣體的靈敏性.實驗結果錶明,500℃下燒結的粉體所作成的器件,對氣體具有最大的靈敏度,其原因為隨著燒結溫度的增加,ZnO的顆粒變大,從而限製瞭固體與氣體的反應麵積.再以TiO2材料為摻雜劑,研究摻雜後元件的氣敏特性.乙醇和甲苯的最佳工作電流得到瞭降低,這一現象,將有助于降低器件的工作溫度,這也是目前研究ZnO氣體傳感器主要需要解決的問題.
통과용효-응효법제비ZnO응효,재300℃예소결.위료득도불동척촌적ZnO분체,병대ZnO분체진일보순화,장예소분체재불동온도,500℃、700℃、900℃하완만소결,최후장소득분체도부재도자관상,재450℃하소결제비성기민원건.측시소득적기민원건대병동、을순、갑분저사VOC기체적령민성.실험결과표명,500℃하소결적분체소작성적기건,대기체구유최대적령민도,기원인위수착소결온도적증가,ZnO적과립변대,종이한제료고체여기체적반응면적.재이TiO2재료위참잡제,연구참잡후원건적기민특성.을순화갑분적최가공작전류득도료강저,저일현상,장유조우강저기건적공작온도,저야시목전연구ZnO기체전감기주요수요해결적문제.
