机电信息
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궤전신식
MECHANICAL AND ELECTRICAL INFORMATION
2013年
18期
160-161
,共2页
朱玉龙%王勇%朱军辉%孙伏骏
硃玉龍%王勇%硃軍輝%孫伏駿
주옥룡%왕용%주군휘%손복준
压电陶瓷%迟滞%采样拟合%前馈控制
壓電陶瓷%遲滯%採樣擬閤%前饋控製
압전도자%지체%채양의합%전궤공제
在亚微米超精密定位技术中,压电陶瓷的迟滞特性对定位精度影响较大.针对这一问题,提出了一种压电陶瓷迟滞特性的前馈控制算法.根据实验数据,借助Matlab软件建立压电陶瓷的迟滞数学模型,反求出输入电压转换函数,实现迟滞前馈控制.结果证明,利用该控制算法,压电陶瓷升/降压产生的位移线性度良好,迟滞在5％以内,可以满足亚微米定位需求.
在亞微米超精密定位技術中,壓電陶瓷的遲滯特性對定位精度影響較大.針對這一問題,提齣瞭一種壓電陶瓷遲滯特性的前饋控製算法.根據實驗數據,藉助Matlab軟件建立壓電陶瓷的遲滯數學模型,反求齣輸入電壓轉換函數,實現遲滯前饋控製.結果證明,利用該控製算法,壓電陶瓷升/降壓產生的位移線性度良好,遲滯在5％以內,可以滿足亞微米定位需求.
재아미미초정밀정위기술중,압전도자적지체특성대정위정도영향교대.침대저일문제,제출료일충압전도자지체특성적전궤공제산법.근거실험수거,차조Matlab연건건립압전도자적지체수학모형,반구출수입전압전환함수,실현지체전궤공제.결과증명,이용해공제산법,압전도자승/강압산생적위이선성도량호,지체재5％이내,가이만족아미미정위수구.
