电子工艺技术
電子工藝技術
전자공예기술
ELECTRONICS PROCESS TECHNOLOGY
2013年
4期
246-249
,共4页
大尺寸硅锭%定向凝固%装料工艺%铸锭工艺
大呎吋硅錠%定嚮凝固%裝料工藝%鑄錠工藝
대척촌규정%정향응고%장료공예%주정공예
Large size silicon ingot%Directional solidification%Loading process%Casting process
对多晶硅锭生产过程中装料工艺和铸锭工艺进行研究，在不增加投入和不降低生产效率的基础上，通过对硅料配比和排布方式进行调整，实现877 mm×877 mm×420 mm坩埚中480 kg合格硅锭的生产，使装料量增加20 kg/锭；并通过对铸锭工艺关键点的有效控制，将硅锭有效利用率提高至70%，实现降低生产成本，提高设备产能的目的。
對多晶硅錠生產過程中裝料工藝和鑄錠工藝進行研究，在不增加投入和不降低生產效率的基礎上，通過對硅料配比和排佈方式進行調整，實現877 mm×877 mm×420 mm坩堝中480 kg閤格硅錠的生產，使裝料量增加20 kg/錠；併通過對鑄錠工藝關鍵點的有效控製，將硅錠有效利用率提高至70%，實現降低生產成本，提高設備產能的目的。
대다정규정생산과정중장료공예화주정공예진행연구，재불증가투입화불강저생산효솔적기출상，통과대규료배비화배포방식진행조정，실현877 mm×877 mm×420 mm감과중480 kg합격규정적생산，사장료량증가20 kg/정；병통과대주정공예관건점적유효공제，장규정유효이용솔제고지70%，실현강저생산성본，제고설비산능적목적。
Achieved the production of 480 kg silicon-ingot in the pot 877 mm×877 mm×420 mm by adjusting the silicon material proportion and arrangement, based on the research of the loading process and casting process of polycrystalline silicon ingot production, without any increase in investment, and does not reduce the production efficiency. The weight of ingot increased by 20 kg, and the effective utilization rate reached to 70% by controlling the key point of casting process, reduced the production cost, increased the productivity.
