机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2013年
7期
227-229,232
,共4页
纳米尺度%纳米压痕仪%原子力显微镜%接触力学
納米呎度%納米壓痕儀%原子力顯微鏡%接觸力學
납미척도%납미압흔의%원자력현미경%접촉역학
Nanometer Scale%Nano-Indenter Instrument%Atomic Force Microscope%Contact Mechanics
利用纳米压痕仪进行纳米尺度接触力学特性实验研究,通过金刚石探针与单晶硅试件接触作用,获得不同载荷、不同接触深度条件下的接触压入和脱离接触的位移-载荷曲线,并利用原子力显微镜对接触区域扫描,获得接触区域AFM三维形貌图.研究表明,在不同载荷条件下接触压入,随着载荷的增大,接触深度也随之增大；在不同深度条件下接触压入,随着接触深度的增大,接触作用力也随之增大.脱离接触的时候,接触区有弹性恢复,但有残余变形,接触区域表现出了塑性变形,压痕附近区域没有裂纹情况出现,载荷或接触深度越大,接触塑性变形越明显.此外,在不同载荷、不同接触深度条件下,接触区的压痕硬度和弹性模量相应有不同值,接触压痕硬度值和弹性模量值均有一定变化.
利用納米壓痕儀進行納米呎度接觸力學特性實驗研究,通過金剛石探針與單晶硅試件接觸作用,穫得不同載荷、不同接觸深度條件下的接觸壓入和脫離接觸的位移-載荷麯線,併利用原子力顯微鏡對接觸區域掃描,穫得接觸區域AFM三維形貌圖.研究錶明,在不同載荷條件下接觸壓入,隨著載荷的增大,接觸深度也隨之增大；在不同深度條件下接觸壓入,隨著接觸深度的增大,接觸作用力也隨之增大.脫離接觸的時候,接觸區有彈性恢複,但有殘餘變形,接觸區域錶現齣瞭塑性變形,壓痕附近區域沒有裂紋情況齣現,載荷或接觸深度越大,接觸塑性變形越明顯.此外,在不同載荷、不同接觸深度條件下,接觸區的壓痕硬度和彈性模量相應有不同值,接觸壓痕硬度值和彈性模量值均有一定變化.
이용납미압흔의진행납미척도접촉역학특성실험연구,통과금강석탐침여단정규시건접촉작용,획득불동재하、불동접촉심도조건하적접촉압입화탈리접촉적위이-재하곡선,병이용원자력현미경대접촉구역소묘,획득접촉구역AFM삼유형모도.연구표명,재불동재하조건하접촉압입,수착재하적증대,접촉심도야수지증대；재불동심도조건하접촉압입,수착접촉심도적증대,접촉작용력야수지증대.탈리접촉적시후,접촉구유탄성회복,단유잔여변형,접촉구역표현출료소성변형,압흔부근구역몰유렬문정황출현,재하혹접촉심도월대,접촉소성변형월명현.차외,재불동재하、불동접촉심도조건하,접촉구적압흔경도화탄성모량상응유불동치,접촉압흔경도치화탄성모량치균유일정변화.
