机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2013年
7期
185-187
,共3页
李学威%冯亚磊%张鹏%栾显晔%张金果
李學威%馮亞磊%張鵬%欒顯曄%張金果
리학위%풍아뢰%장붕%란현엽%장금과
晶圆预对准机%晶圆传输机器人%建模仿真%标定方法%相对坐标系%误差补偿
晶圓預對準機%晶圓傳輸機器人%建模倣真%標定方法%相對坐標繫%誤差補償
정원예대준궤%정원전수궤기인%건모방진%표정방법%상대좌표계%오차보상
Wafer Pre-Aligner%Wafer Transfer Robot%Modeling and Simulation%Calibration Method%Relative Coordinate System%Error Compensation
在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差,从而实现预对准机自身与相对坐标系的综合标定.针对预对准机与机械手相对坐标系的标定提出了多种方法,并选取了适用于实际情况的方法进行了标定实验,验证了方法的有效性.这种综合标定方法弥补了现有实验条件的不足,避免了对不易标定参数的直接标定,简化了标定过程,提高了设备初始安装与调试的效率.
在對預對準機建模倣真的基礎上,根據晶圓預對準的誤差精度分析結果,利用誤差轉化的方法將預對準機自身誤差轉化成預對準機與機械手相對坐標繫誤差,從而實現預對準機自身與相對坐標繫的綜閤標定.針對預對準機與機械手相對坐標繫的標定提齣瞭多種方法,併選取瞭適用于實際情況的方法進行瞭標定實驗,驗證瞭方法的有效性.這種綜閤標定方法瀰補瞭現有實驗條件的不足,避免瞭對不易標定參數的直接標定,簡化瞭標定過程,提高瞭設備初始安裝與調試的效率.
재대예대준궤건모방진적기출상,근거정원예대준적오차정도분석결과,이용오차전화적방법장예대준궤자신오차전화성예대준궤여궤계수상대좌표계오차,종이실현예대준궤자신여상대좌표계적종합표정.침대예대준궤여궤계수상대좌표계적표정제출료다충방법,병선취료괄용우실제정황적방법진행료표정실험,험증료방법적유효성.저충종합표정방법미보료현유실험조건적불족,피면료대불역표정삼수적직접표정,간화료표정과정,제고료설비초시안장여조시적효솔.
