机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2013年
7期
80-83
,共4页
微机械%微机械陀螺%间接连接%性能变异%加工误差
微機械%微機械陀螺%間接連接%性能變異%加工誤差
미궤계%미궤계타라%간접련접%성능변이%가공오차
MEMS%Microgyroscope%Indirect Connection%Performance Variation%Fabrication Error
以一种间接连接型音又振动式微机械陀螺为研究对象,分析了加工误差引起的关键参数的性能变异对检测输出电容的影响.通过对这种微机械陀螺的检测原理介绍并对其动力学进行分析,获得了误差检测模型输出电容表达式.结果表明,这种微机械陀螺检测微弹性梁弹性系数的变异引起的不对称对系统输出具有较大的影响,加工中对检测微弹性梁应引起足够的重视.工作为间接连接型音叉振动式微机械陀螺加工性能的提高具有一定的参考价值.
以一種間接連接型音又振動式微機械陀螺為研究對象,分析瞭加工誤差引起的關鍵參數的性能變異對檢測輸齣電容的影響.通過對這種微機械陀螺的檢測原理介紹併對其動力學進行分析,穫得瞭誤差檢測模型輸齣電容錶達式.結果錶明,這種微機械陀螺檢測微彈性樑彈性繫數的變異引起的不對稱對繫統輸齣具有較大的影響,加工中對檢測微彈性樑應引起足夠的重視.工作為間接連接型音扠振動式微機械陀螺加工性能的提高具有一定的參攷價值.
이일충간접련접형음우진동식미궤계타라위연구대상,분석료가공오차인기적관건삼수적성능변이대검측수출전용적영향.통과대저충미궤계타라적검측원리개소병대기동역학진행분석,획득료오차검측모형수출전용표체식.결과표명,저충미궤계타라검측미탄성량탄성계수적변이인기적불대칭대계통수출구유교대적영향,가공중대검측미탄성량응인기족구적중시.공작위간접련접형음차진동식미궤계타라가공성능적제고구유일정적삼고개치.
