材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
z1期
207-210,220
,共5页
王松%谢明%王塞北%杨云峰%付作鑫
王鬆%謝明%王塞北%楊雲峰%付作鑫
왕송%사명%왕새북%양운봉%부작흠
氧化铟锡靶材%高密度%制备
氧化銦錫靶材%高密度%製備
양화인석파재%고밀도%제비
ITO target%high density%preparation
ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一.综合评述了高密度ITO靶材的研究现状.介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工艺.比较和分析了ITO粉体和靶材各制备工艺的优缺点.最后提出了制备高品质ITO靶材的研究方向.
ITO靶材是導電玻璃、LED、太暘能電池等行業的覈心材料之一.綜閤評述瞭高密度ITO靶材的研究現狀.介紹瞭ITO粉末的製備方法如機械混閤法、噴霧熱分解法、噴霧燃燒法、化學共沉澱法、金屬醇鹽水解法、水熱閤成法等以及ITO靶材的製備工藝.比較和分析瞭ITO粉體和靶材各製備工藝的優缺點.最後提齣瞭製備高品質ITO靶材的研究方嚮.
ITO파재시도전파리、LED、태양능전지등행업적핵심재료지일.종합평술료고밀도ITO파재적연구현상.개소료ITO분말적제비방법여궤계혼합법、분무열분해법、분무연소법、화학공침정법、금속순염수해법、수열합성법등이급ITO파재적제비공예.비교화분석료ITO분체화파재각제비공예적우결점.최후제출료제비고품질ITO파재적연구방향.
