材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
z1期
201-206
,共6页
赵齐%代明江%韦春贝%邱万奇%侯惠君
趙齊%代明江%韋春貝%邱萬奇%侯惠君
조제%대명강%위춘패%구만기%후혜군
金刚石薄膜%热导率%晶粒尺寸%反应温度
金剛石薄膜%熱導率%晶粒呎吋%反應溫度
금강석박막%열도솔%정립척촌%반응온도
diamond film%thermal conductivity%grain size%reaction temperature
分析了金刚石薄膜热导率的声子导热机理,从金刚石薄膜晶体结构的角度总结了影响热导率的因素,例如晶界、晶内杂质、缺陷、晶粒尺寸、晶粒取向、同位素;从金刚石薄膜合成工艺角度探讨了影响金刚石薄膜热导率的因素,例如基底材料及预处理、合成温度、气源及添加气体(氧气、氮气)、工作压强、功率等.
分析瞭金剛石薄膜熱導率的聲子導熱機理,從金剛石薄膜晶體結構的角度總結瞭影響熱導率的因素,例如晶界、晶內雜質、缺陷、晶粒呎吋、晶粒取嚮、同位素;從金剛石薄膜閤成工藝角度探討瞭影響金剛石薄膜熱導率的因素,例如基底材料及預處理、閤成溫度、氣源及添加氣體(氧氣、氮氣)、工作壓彊、功率等.
분석료금강석박막열도솔적성자도열궤리,종금강석박막정체결구적각도총결료영향열도솔적인소,례여정계、정내잡질、결함、정립척촌、정립취향、동위소;종금강석박막합성공예각도탐토료영향금강석박막열도솔적인소,례여기저재료급예처리、합성온도、기원급첨가기체(양기、담기)、공작압강、공솔등.
