材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
z1期
154-156,163
,共4页
潘红星%曾亚龙%朱明%李光明
潘紅星%曾亞龍%硃明%李光明
반홍성%증아룡%주명%리광명
四氯化硅%氢化%三氯氢硅%多晶硅
四氯化硅%氫化%三氯氫硅%多晶硅
사록화규%경화%삼록경규%다정규
silicon tetrachloride%hydrogenation%trichlorosilane%polycrystalline silicon
采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段.以此为主线,在已有研究工作和生产经验的基础上,从原理上分析了四氯化硅氢化反应,总结了影响氢化转化率的主要因素,提出了合理化建议,为多晶硅的生产提供了有价值的参考.
採用氫化技術將四氯化硅轉化為三氯氫硅是目前四氯化硅得到閤理利用的有效手段.以此為主線,在已有研究工作和生產經驗的基礎上,從原理上分析瞭四氯化硅氫化反應,總結瞭影響氫化轉化率的主要因素,提齣瞭閤理化建議,為多晶硅的生產提供瞭有價值的參攷.
채용경화기술장사록화규전화위삼록경규시목전사록화규득도합리이용적유효수단.이차위주선,재이유연구공작화생산경험적기출상,종원리상분석료사록화규경화반응,총결료영향경화전화솔적주요인소,제출료합이화건의,위다정규적생산제공료유개치적삼고.
