洁净与空调技术
潔淨與空調技術
길정여공조기술
CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
2013年
2期
21-24
,共4页
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潔淨室設備內環境是產品最近的環境,設備內潔淨度直接影響產品品質,隨著現在科學技術的高速髮展,對生產設備內部環境潔淨度要求越來越高.通過薄膜晶體管液晶顯示模塊(TFT-LCD)生產線設備內環境潔淨度的提升,得到瞭非常重要的一線數據,積纍瞭很多經驗.粒子(Particle)是潔淨間產品品質最大的敵人,設備內環境就是產品的環境,設備內環境潔淨度的改善和控製是非常重要和必要的.
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